Тимошенков, Сергей Петрович. Особенности формирования фоторезистивных пленок на подложках некруглой формы [Текст] / С. П. Тимошенков, В. В. Ануфриенко, Мьо Хейн Зо // Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 6. - С. 71-74. - Библиогр.: с. 73-74 (4 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника Кл.слова (ненормированные): фоторезистивные пленки -- поверхностное натяжение -- сила Кориолиса -- Кориолиса сила -- подложки -- покрытия Аннотация: Приведены результаты экспериментального исследования формирования на прямоугольных и квадратных подложках покрытий из растворов с различными значениями плотности, коэффициентов вязкости и поверхностного натяжения. Доп.точки доступа: Ануфриенко, Вячеслав Владимирович; Мьо Хейн Зо |
Тимошенков, Сергей Петрович. Методика оценки параметров чувствительных элементов микроакселерометров и микрозеркал [Текст] / С. П. Тимошенков, А. Н. Бойко, Б. М. Симонов // Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 5. - С. 23-29 : ил. - Библиогр.: с. 28-29 (8 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Кибернетика Кл.слова (ненормированные): микромеханические элементы -- зеркала -- микрозеркала -- чувствительные элементы -- датчики Аннотация: Представлены результаты применения исследовательской методики, разработанной для измерения параметров микромеханических элементов. Доп.точки доступа: Бойко, Антон Николаевич; Симонов, Борис Михайлович |
Реле на основе МЭМС с электростатическим принципом управления [Текст] / С. П. Тимошенков [и др. ] // Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 4. - С. 44-50 : ил. - Библиогр.: с. 49-50 (3 назв. )
Рубрики: Энергетика Электрический нагрев Кл.слова (ненормированные): микромеханические системы -- микромеханические реле -- технологические процессы -- сборка -- технологии Аннотация: Составлена технологическая схема изготовления микромеханического реле. Доп.точки доступа: Тимошенков, Сергей Петрович; Зотов, Сергей Александрович; Калугин, Виктор Владимирович; Рубчиц, Вадим Григорьевич; Захаров, Алексей Анатольевич |
Зотов, Сергей Александрович. Состояние разработки микроакселерометров серии АРК [Текст] / С. А. Зотов, С. П. Тимошенков // Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 1. - С. 85-86 : ил.
Рубрики: Машиностроение Приборостроение Кл.слова (ненормированные): акселерометры -- прочности -- перегрузки -- устойчивость -- микроакселерометры Аннотация: Разработана конструкция микромеханического акселерометра серии АРК, который отличается высокой точностью, чувствительностью при повышении устойчивости и прочности по отношению к линейным перегрузкам и механическим ударам. Доп.точки доступа: Тимошенков, Сергей Петрович |
Исследование характеристик плазмохимического реактора с плоским индуктором [Текст] / А. А. Васильев [и др. ] // Известия вузов. Электроника. - 2009. - N 3 (77). - С. 7-11 : рис. - Библиогр.: с. 10 (3 назв. ) . - ISSN 1561-5405
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): плазмохимические реакторы -- плоские индукторы -- конструкция реактора -- высокоплотная плазма -- высокоинтенсивная плазма -- ионные токи -- магнитные поля -- травление (метод) -- ТСП -- трансформаторно-связанная плазма Аннотация: Приведены результаты исследования физических и технологических характеристик плазмохимического реактора индукционного типа с плоским индуктором (ТСП-источником). Доп.точки доступа: Васильев, Александр Андреевич; Виноградов, Анатолий Иванович; Зарянкин, Николай Михайлович; Путря, Михаил Георгиевич; Тимошенков, Сергей Петрович |
Туркин, Илья Алексеевич. Сверхширокополосные фильтры на поверхностных акустических волнах высокой прямоугольности [Текст] / И. А. Туркин, С. П. Тимошенков, А. Е. Краснопольский // Известия вузов. Электроника. - 2009. - N 79. - С. 70-76. - Библиогр.: с. 76 (8 назв. ) . - ISSN 1561-5405
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): акустические волны -- поверхностные акустические волны -- широкополосные фильтры -- преобразователи -- фильтры Аннотация: Рассмотрены сверхширокополосные ПАВ-фильтры на базе однофазных однонаправленных встречно-штыревых преобразователей российского производства. Приведена общая классификация ПАВ-фильтров. Доп.точки доступа: Тимошенков, Сергей Петрович; Краснопольский, Александр Евгеньевич |
Тимошенков, Сергей Петрович. Схема емкостного преобразователя линейных ускорений [Текст] / С. П. Тимошенков, А. С. Шалимов, С. А. Анчутин // Известия вузов. Электроника. - 2009. - N 80. - С. 79-81. - Библиогр.: с. 81 (2 назв. ) . - ISSN 1561-5405
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- микросистемы -- акселерометры -- емкостные акселерометры -- преобразователи Аннотация: Рассмотрено одно из возможных схемотехнических решений для разработки емкостных преобразователей линейных ускорений с чувствительным элементом дифференциального типа. Приведены результаты испытаний опытного образца. Доп.точки доступа: Шалимов, Андрей Сергеевич; Анчутин, Степан Александрович |
Туркин, Илья Алексеевич. Сверхширокополосные фильтры на поверхностных акустических волнах высокой прямоугольности [Текст] / И. А. Туркин, С. П. Тимошенков, А. Е. Краснопольский // Известия вузов. Электроника. - 2009. - N 5. - С. 70-76 : рис. - Библиогр.: с. 76 (8 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Радиоэлектроника в целом Кл.слова (ненормированные): поверхностная акустическая волна -- широкополосный фильтр -- полоса пропускания -- пульсации амплитуды -- классификация Аннотация: Рассмотрены сверхширокополосные ПАВ-фильтры на базе однофазных однонаправленных встречно-штыревых преобразователей российского производства. Приведена общая классификация ПАВ-фильтров. Доп.точки доступа: Тимошенков, Сергей Петрович; Краснопольский, Александр Евгеньевич |
Тимошенков, Сергей Петрович. Схема емкостного преобразователя линейных ускорений [Текст] / С. П. Тимошенков, А. С. Шалимов, С. А. Анчутин // Известия вузов. Электроника. - 2009. - N 6. - С. 79-81 : рис. - Библиогр.: с. 81 (2 назв. )
Рубрики: Военное дело Стрелковое оружие Энергетика Преобразователи, выпрямители, инверторы Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- микросистемы -- емкостные акселерометры -- чувствительный элемент -- опытные образцы -- средства навигации Аннотация: Рассмотрено одно из возможных схемотехнических решений для разработки емкостных преобразователей линейных ускорений с чувствительным элементом дифференциального типа. Приведены результаты испытаний опытного образца. Доп.точки доступа: Шалимов, Андрей Сергеевич; Анчутин, Степан Александрович |
Технологии вакуумной герметизации МЭМС (обзор) [Текст] / С. П. Тимошенков [и др. ] // Известия вузов. Электроника. - 2010. - N 1. - С. 11-23. - Библиогр.: с. 22-23 (37 назв. )
Рубрики: Техника Обработка материалов Вычислительная техника Вычислительная техника в целом Кл.слова (ненормированные): газовое демпфирование -- термическая изоляция -- микромеханические приборы -- методы обработки материалов Аннотация: Показаны основные факторы, определяющие требования к герметизации микромеханических устройств и систем (МЭМС). Проанализированы применительно к герметизации МЭМС методы обработки материалов и создания трехмерных структур, используемые в микросистемной технике. Рассмотрены различные технологические варианты вакуумной герметизации микросистем, тенденции развития данной области. Доп.точки доступа: Тимошенков, Сергей Петрович; Бойко, Антон Николаевич; Симонов, Борис Михайлович; Заводян, Алиса Викторовна Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Оптимизация параметров процесса глубокого плазмохимического травления кремния для элементов МЭМС [Текст] / А. И. Виноградов [и др. ] // Известия вузов. Электроника. - 2010. - N 2. - С. 3-9 : рис. - Библиогр.: с. 8-9 (4 назв. )
Рубрики: Техника Обработка материалов Химическая технология Общие вопросы химической технологии Кл.слова (ненормированные): планирование эксперимента -- глубокое травление кремния -- чувствительные элементы -- качество поверхности -- пассивация Аннотация: Исследованы зависимости характеристик глубокого травления кремния от параметров процесса. Для нахождения оптимальных режимов, обеспечивающих высокую селективность к маске и снижение апертурного эффекта, применен метод планирования многофакторного эксперимента. Результаты исследования использованы при изготовлении реальных структур МЭМС. Доп.точки доступа: Виноградов, Анатолий Иванович; Зарянкин, Николай Михайлович; Прокопьев, Евгений Петрович; Тимошенков, Сергей Петрович; Михайлов, Юрий Александрович Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Новиков, Сергей Николаевич. Зависимость работы выхода электрона от условий окисления Si (100) [Текст] / С. Н. Новиков, С. П. Тимошенков, Д. О. Сухоруков // Известия вузов. Электроника. - 2010. - N 3. - С. 86-87. : рис. - Библиогр.: с. 87 (3 назв. )
Рубрики: Энергетика Проводниковые материалы и изделия Кл.слова (ненормированные): пластины кремния -- оксидные пленки -- свойства -- микроприборы -- окислы Аннотация: О попытке установления связи между условиями окисления Si (100) и свойствами полученной оксидной пленки. Доп.точки доступа: Тимошенков, Сергей Петрович; Сухоруков, Дмитрий Олегович Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Тимошенков, Сергей Петрович. Методы сборки и монтажа макетных образцов микроэлектромеханических систем [Текст] / С. П. Тимошенков, А. Н. Бойко, Б. М. Симонов // Известия вузов. Электроника. - 2010. - N 4. - С. 58-63. : рис. - Библиогр.: с. 63 (4 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): анодное сращивание -- эвтектическая пайка -- микроэлектромеханические приборы -- технологические процессы -- монтаж Аннотация: Изложены результаты выполненных исследований по разработке технологии сборки и монтажа чувствительных элементов и деталей конструкций макетных образцов МЭМС. Доп.точки доступа: Бойко, Антон Николаевич; Симонов, Борис Михайлович Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |