Егоркина, Регина Юрьевна. Аспекты в производстве фотошаблонов [Текст] / Р. Ю. Егоркина, В. А. Овчинников, В. Б. Кольцов // Известия вузов. Электроника. - 2009. - N 6. - С. 85-86 : рис. - Библиогр.: с. 86 (4 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Радиоэлектроника в целом Экология Загрязнение окружающей среды Кл.слова (ненормированные): отходы производства -- номенклатура -- технологический процесс -- организации производства -- микросхемы Аннотация: Проведен анализ технологического процесса изготовления фотошаблонов для производства ИС с проектными нормами 350 нм. Доп.точки доступа: Овчинников, Вячеслав Алексеевич; Кольцов, Владимир Борисович |
Егоркина, Регина Юрьевна. Модернизация системы мониторинга отходов производства изделий нано- и микросистемной техники [Текст] / Р. Ю. Егоркина // Известия вузов. Электроника. - 2010. - N 3. - С. 90-91. : рис. - Библиогр.: с. 91 (3 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Радиоэлектроника в целом Экология Общие вопросы охраны окружающей среды Кл.слова (ненормированные): нанотехнологии -- мониторинг отходов -- компонентный состав -- класс опасности -- микросистемная техника -- исследования Аннотация: Проведен анализ системы Федерального классификационного каталога отходов. Выполнен расчет класса опасности образующихся отходов, определен их компонентный состав и на основе проведенных исследований результатов сделаны предложения по внедрению дополнительного информационного блока, содержащего данные о конечном этапе цикла производства изделий нано- и микросистемной техники. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Егоркина, Регина Юрьевна (кандидат технических наук). Оценка влияния деятельности предприятия, производящего фотошаблоны, на окружающую среду [Текст] = Evaluation of the impact of the activities of the enterprise conducting photomasks on the environment / Р. Ю. Егоркина, Е. А. Севрюкова // Экология промышленного производства. - 2012. - № 4. - С. 32-34. - Библиогр.: с. 34 (5 назв. ) . - ISSN 2073-2589
Рубрики: Экология Загрязнение окружающей среды Кл.слова (ненормированные): фотошаблоны -- атмосфера -- интегральные микросхемы Аннотация: Дана оценка воздействия на окружающую среду производства фотошаблонов для интегральных микросхем. Выполнен расчет приземных концентраций с использованием программного комплекса "Призма". Рассчитан параметр, характеризующий величину выбрасываемого вещества по десяти загрязняющим веществам. Проведен анализ результатов рассеивания приземных концентраций загрязняющих веществ на границе санитарно-защитной зоны. Доп.точки доступа: Севрюкова, Елена Александровна (кандидат технических наук) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Севрюкова, Елена Александровна. Экологические аспекты комплексного управления качеством микроклимата в чистых помещениях [Текст] = Environmental aspects of integrated management of quality of microclimate in clean rooms / Е. А. Севрюкова, Р. Ю. Егоркина // Экология промышленного производства. - 2012. - № 4. - С. 35-36. - Библиогр.: с. 36 (2 назв. ) . - ISSN 2073-2589
Рубрики: Экология Загрязнение окружающей среды Кл.слова (ненормированные): производственные помещения -- атмосфера -- фотошаблоны -- место работы проектировщика Аннотация: Приведены обзор и анализ требований к экологии рабочего места проектировщика и инженера-изготовителя с учетом необходимости соблюдения класса чистоты производственных помещений. Проанализированы важные экологические аспекты по созданию оптимальных и комфортных условий труда на рабочем месте проектировщика. Доп.точки доступа: Егоркина, Регина Юрьевна (кандидат технических наук) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |