Горнев, Е. С. (д-р техн. наук). Датчики становятся меньше, функциональнее и умнее... [Текст] / Е. С. Горнев // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - 1813-8586, N 5. - 011 . 18-28 . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): датчики -- микросистемная техника -- программа развития Аннотация: Высокий уровень автоматизации производства требует большого числа различных датчиков, фиксирующих состояние процесса, его отклонения и дающие сигнал на его удержание в заданных рамках. |
Бокарев, В. П. Применение контактной литографии в процессах переноса субмикрометрового изображения при изготовлении МЭМС и ПАВ-устройств [Текст] / В. П. Бокарев, Е. С. Горнев // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - N 7. - С. 23-27. . - Библиогр.: с. 27 (9 назв. )
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура молекулярной физики Кл.слова (ненормированные): контактная литография -- проекционная литография -- иммерсионная литография -- импринт литография -- фоторезист -- фотошаблон -- субмикрометровые размеры -- МЭМС -- ПАВ-устройства Аннотация: Рассмотрены вопросы применимости контактной, проекционной и импринт литографии при изготовлении МЭМС и ПАВ-устройств с субмикрометровыми проектными нормами. Доп.точки доступа: Горнев, Е. С. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Сравнительные характеристики пьезокерамических механоэлектрических преобразователей для генерации электричества [Текст] / В. А. Головнин [и др.] // Вестник Тверского государственного университета. - 2010. - № 41 (Физика). - С. 33-46 : ил., табл. - Библиогр.: с. 45 (8 назв. ) . - ISSN 1995-0128
Рубрики: Физика Электрические и магнитные свойства твердых тел Электростатика Энергетика Преобразователи, выпрямители, инверторы Кл.слова (ненормированные): деформации -- механоэлектрические преобразователи -- микрогенераторы -- МЭП -- преобразователи -- пьезокерамика -- пьезоэлектрики -- пьезоэффект -- цирконат-титанат свинца -- ЦТС -- электрическая энергия -- энергия Аннотация: Баланс энергии пьезокерамических механоэлектрических преобразователей (МЭП) в режиме генерации электрической энергии. Доп.точки доступа: Головнин, В. А.; Горнев, Е. С.; Дайнеко, А. В.; Добрынин, Д. А.; Друина, Д. В.; Мамкина, Н. О. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |