Тимошенков, Сергей Петрович. Особенности формирования фоторезистивных пленок на подложках некруглой формы [Текст] / С. П. Тимошенков, В. В. Ануфриенко, Мьо Хейн Зо // Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 6. - С. 71-74. - Библиогр.: с. 73-74 (4 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника Кл.слова (ненормированные): фоторезистивные пленки -- поверхностное натяжение -- сила Кориолиса -- Кориолиса сила -- подложки -- покрытия Аннотация: Приведены результаты экспериментального исследования формирования на прямоугольных и квадратных подложках покрытий из растворов с различными значениями плотности, коэффициентов вязкости и поверхностного натяжения. Доп.точки доступа: Ануфриенко, Вячеслав Владимирович; Мьо Хейн Зо |