Овчинников, Вячеслав Алексеевич. Разработка технологии ретуширования прозрачных дефектов фотошаблонов на лазерной установке ЭМ-5001Б [Текст] / В. А. Овчинников // Известия вузов. Электроника. - 2009. - N 4. - С. 25-28 : рис. - Библиогр.: с. 28 (4 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Общая радиотехника Кл.слова (ненормированные): режим осаждения -- фотолитография -- литографические процессы -- интегральные микросхемы -- кремниевые пластины Аннотация: Установлена зависимость высоты осажденного материала от режимов осаждения, кратности проходов и длины осажденной линии. Определены технологические режимы процесса устранения прозрачных дефектов на фотошаблоне. |
Акустоэлектронный нанобиосенсор [Текст] / А. Е. Мельников [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2019. - Т. 83, № 1. - С. 62-65. - Библиогр.: c. 65 (2 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Геология Минералогия Физика Распространение звука Кл.слова (ненормированные): нанострансдьюсеры -- негативная электронно-лучевая нанолитография -- ниобат лития -- система встречно-штыревых электродов -- фотолитография Аннотация: Разработана технология, реализующая две разномасштабные структуры на монокристаллической пьезоэлектрической подложке ниобата лития. С помощью методов фотолитографии изготовлена система встречно-штыревых электродов для акустической линии задержки, работающей в диапазоне 2–3 МГц, совмещенная с нанострансдьюсерами с характерным размером 60-80 нм, изготовленными с использованием негативной электронно-лучевой нанолитографии. Доп.точки доступа: Мельников, А. Е.; Солдатов, Е. С.; Кузнецова, И. Е.; Колесов, В. В.; Анисимкин, В. И.; Кашин, В. В. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |