Иванов, С. Низковольтная растровая электронная микроскопия для исследования наноматериалов [Текст] / С. Иванов // Наноиндустрия. - 2009. - N 4. - С. 66-70 : ил.: 9 рис.
Рубрики: Техника Метрология Кл.слова (ненормированные): наноматериалы -- РЭМ -- растровые электронные микроскопы -- вторичные электроны -- тестирование микроэлектронной технологии Аннотация: Низковольтная растровая микроскопия высокого разрешения является незаменимым методом исследования наноматериалов. |