Брудный, В. Н. Физические свойства твёрдых растворов IN[X]AL[1-X]N [Текст] / В. Н. Брудный, М. Д. Вилисова, Л. Э. Великовский // Известия вузов. Физика. - 2018. - Т. 61, № 6. - С. 142-147 : рис., табл. - Библиогр.: с. 146-147 (32 назв. ) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика Термодинамика и статистическая физика Кл.слова (ненормированные): газофазовая эпитаксия -- магнетронное напыление -- методы получения -- молекулярно-лучевая эпитаксия -- свойства твёрдых растворов -- твердые растворы нитридных соединений -- твердые растворы полупроводниковых соединений -- фазовые диаграммы -- электрофизика Аннотация: Проанализированы фазовые диаграммы и результаты исследований свойств твердых растворов полупроводниковых соединений GaN, AlN, InN, полученных с использованием магнетронного напыления, МЛЭ- и МОСГФЭ-технологий и предназначенных для производства сверхвысокочастотных HEMT-транзисторов. Доп.точки доступа: Вилисова, М. Д.; Великовский, Л. Э. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |