Васильев, В. А. Моделирование и анализ поверхностей тонких пленок материалов [Текст] / В. А. Васильев, П. С. Чернов // Инженерная физика. - 2012. - № 2. - С. 25-30 : ил. - Библиогр.: с. 30 (12 назв.) . - ISSN 2072-9995
Рубрики: Приборостроение Приборостроение в целом Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- стохастические клеточные автоматы -- морфология поверхности -- микросистемная техника -- атомно-силовая микроскопия -- случайное осаждение -- поверхность тонких пленок -- теория клеточных автоматов Аннотация: Рассматривается проблема моделирования роста поверхности тонких пленок материалов. Предложена модель роста поверхности тонких пленок, представляющая собой стохастический клеточный автомат и позволяющая исследовать влияние температуры подложки, скорости и времени осаждения. Проведено сравнение результатов моделирования с данными атомно-силовой микроскопии экспериментально полученных образцов тонких пленок. Доп.точки доступа: Чернов, П. С. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |