Исследование сложнопрофильных микрообъектов методами атомной силовой микроскопии [Текст] / А. И. Галушков [и др. ] // Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 1. - С. 83-84 : ил. - Библиогр.: с. 84 (2 назв. )
Рубрики: Вычислительная техника Оргтехника Кл.слова (ненормированные): микроскопия -- тонкие пленки -- микроэлектроника -- микросистемная техника -- исследования -- сложнопрофильные микрообъекты -- методы -- микрообъекты Аннотация: Продемонстрированы примеры решения задач с использованием атомной силовой микроскопии (АСМ). Доп.точки доступа: Галушков, Александр Иванович; Годовицын, Игорь Валерьевич; Сауров, Александр Николаевич; Краснобородько, Сергей Юрьевич; Шевяков, Василий Иванович |