Расчет терморезистивного анемометрического преобразователя на мембране [Текст] / А. А. Бобров [и др. ]> // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - N 8. - С. 34-39. . - Библиогр.: с. 39 (6 назв. )
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): микросистемная техника -- преобразователь расхода газа -- термокомпенсированная мембрана -- терморезисторы -- динамический диапазон измерений -- скорость потока Аннотация: Дан теоретический анализ температурного режима работы в стационарном режиме терморезистивного анемометра на основе кремниевой мембраны в качестве сенсора, регистрирующего значение скорости и расхода газового потока. Описана конструкция разрабатываемого анемометрического преобразователя, его термодинамическая модель и обсуждается связь его конструктивных параметров с выходными характеристиками сенсора. Доп.точки доступа: Бобров, А. А.; Попков, А. Ф.; Дюжев, Н. А.; Кулагин, Н. Е.; Махиборода, М. А.; Медников, А. М. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Исследование выходного отклика резистивного анемометрического преобразователя расхода газа мембранного типа в стационарном импульсном режимах нагрева [Текст] / А. А. Бобров [и др. ]> // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - N 9. - С. 23-27. . - Библиогр.: с. 27 (6 назв. )
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): преобразователь расхода газа -- термокомпенсированная мембрана -- терморезисторы -- динамический диапазон измерений -- скорость патока Аннотация: Описаны конструкция и принцип работы разработанного терморезистивного анемометричного преобразователя для газовых сред мембранного типа. Приводятся результаты измерений выходного разностного сигнала преобразователя в стационарном и импульсном режимах. Приведены оценки динамического диапазона измерений преобразователя и оценка ресурса его работы в автономном режиме. Доп.точки доступа: Бобров, А. А.; Дюжев, Н. А.; Медников, А. М.; Махиборода, М. А.; Попков, А. Ф. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |