Рябчиков, Александр Ильич. Применение высокочастотного короткоимпульсного потенциала смещения для ионно-лучевой и плазменной обработки проводящих и диэлектрических материалов [Текст] / А. И. Рябчиков, И. Б. Степанов // Известия Томского политехнического университета. - 2010. - Т. 316, N 4. - С. 85-89 : ил. - Библиогр.: с. 89 (16 назв. ). . - ISSN 1684-8519
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): потенциалы смещения -- высокочастотные потенциалы -- короткоимпульсные потенциалы -- проводящие материалы -- диэлектрические материалы -- ионно-лучевая обработка -- плазменная обработка -- металлическая плазма -- абляционная плазма -- иммерсионная ионная имплантация -- модификация поверхности Аннотация: Приведены результаты исследований применимости метода высокочастотной короткоимпульсной плазменно-иммерсионной ионной имплантации и/или осаждения покрытий с использованием вакуумно-дуговой и абляционной плазмы к проводящим и диэлектрическим подложкам. Показано, что ионная имплантация с компенсацией ионного распыления осаждением покрытия из плазмы и ионно-ассистированное осаждение покрытия могут быть реализованы для металлических и диэлектрических образцов посредством изменения отрицательного потенциала смещения в диапазоне 0... 4 кВ при частоте повторения импульсов (2... 4, 4). 105 имп/с, длительности импульса 0, 5... 2 мкс и коэффициенте заполнения импульсов 0, 1... 0, 9. Экспериментально установлено, что при осаждении покрытий из абляционной плазмы, полученной воздействием высокоинтенсивного ионного пучка длительностью 90 нс, с плотностью тока 3. 10-2 А/м2 и энергией ионов 350 кэВ на мишень, микродуговые явления на поверхности подложки наблюдаются при постоянном потенциале смещения более -60 В. Переход на импульсы длительностью 0, 5 мкс позволил увеличить потенциал смещения до -4 кВ. Обсуждается возможность применения высокочастотных, короткоимпульсных потенциалов смещения для формирования покрытий из вакуумно-дуговой и абляционной плазмы с высокой адгезионной прочностью и улучшенными эксплуатационными характеристиками. Доп.точки доступа: Степанов, И. Б. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |