Алексеев, А. Быстрый нагрев и охлаждение образцов в управляемой газовой среде [Текст] / А. Алексеев, К. Крупальник, Н. Корнилов // Наноиндустрия. - 2011. - N 3. - С. 22-23. : ил.: 2 рис.
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Машиностроение Упрочнение металлов Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые пластины -- термическая обработка -- микроэлектроника -- кварцевые реакторы -- наногетероструктуры Аннотация: Термическая обработка полупроводниковых пластин - важный этап многих технологических маршрутов при формировании приборов микроэлектроники. Доп.точки доступа: Крупальник, К.; Корнилов, Н. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Поляков, Н. Н. Измерение и контроль свойств металлических контактов к полупроводниковым пластинам и пленкам [Текст] / Н. Н. Поляков, А. А. Заворотний // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2013. - Т. 79, № 9. - С. 36-40. - Библиогр.: с. 40 (7 назв. ) . - ISSN 1028-6861
Рубрики: Физика Физика полупроводников и диэлектриков Кл.слова (ненормированные): измерение свойств контактов -- контроль свойств контактов -- металлические контакты -- металл - полупроводник -- полупроводниковые пластины -- полупроводниковые пленки -- сопротивление растекания -- удельная электропроводность -- метод Фурье -- Фурье метод -- краевые условия -- коэффициент Холла -- Холла коэффициент Аннотация: Разработан способ измерения сопротивления контактов металл - полупроводник. Построена математическая модель, адекватная условиям физического эксперимента. На основе математической модели предложена методика измерения сопротивления контактов. Доп.точки доступа: Заворотний, А. А. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |