Свойства пленок оксида галлия, полученных ВЧ-магнетронным напылением [Текст] / Т. З. Лыгденова [и др.] // Известия вузов. Физика. - 2017. - Т. 60, № 11. - С. 56-60 : рис. - Библиогр.: c. 60 (4 назв. ) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Энергетика Полупроводниковые материалы и изделия Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): ВЧ-магнетронное напыление -- вольт-амперная характеристика -- морфология поверхности -- напыление пленки оксида галлия -- оксид галлия -- пленки оксида галлия -- фазовый состав Аннотация: Представлены результаты анализа структуры и фазового состава пленок оксида галлия, полученных ВЧ-магнетронным напылением. Показано, что в интервале 290-350 К рост проводимости пленок с повышением температуры обусловлен возбуждением электронов с локального уровня Еt, расположенного на 0. 95 эВ ниже дна зоны проводимости. Доп.точки доступа: Лыгденова, Т. З.; Калыгина, В. М.; Новиков, В. А.; Прудаев, И. А.; Толбанов, О. П.; Тяжев, А. В. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |