Белов, А. Н. Термодинамика процесса осаждения карбида ниобия из газовой фазы [Текст] / А. Н. Белов // Вестник Самарского государственного технического университета. Сер.: Технические науки. - 2017. - № 3 (55). - С. 80-84. - полный текст статьи см. на сайте Научной электронной библиотеки https://elibrary.ru . - ISSN 1991-8542
Рубрики: Физика Физика высоких и низких температур Технология металлов Общая технология металлов Кл.слова (ненормированные): термодинамический анализ -- покрытия -- осаждение ниобия -- карбиды ниобия -- пентахлориды ниобия -- ниобий -- метан -- температура реакций -- изобарно-изотермические потенциалы -- газовые фазы -- уравнение Гиббса - Гельмгольца -- Гиббса - Гельмгольца уравнение -- твердосплавные пластины -- энтропийные методы Аннотация: Представлены результаты термодинамического анализа процесса образования покрытия из карбида ниобия из газовой смеси пентахлорида ниобия и метана при пониженном давлении. Коротко описана методика нанесения покрытия из карбида ниобия на твердосплавные неперетачиваемые пластины. Показано, что в реакционном объеме происходит реакция восстановления и диспропорционирования хлоридов, в результате чего выделяется ниобий, который взаимодействует с углеродом; при этом образуется карбид ниобия стехиометрического состава. Термодинамический анализ был проведен с целью определения с наибольшей степенью вероятности реакции, приводящей к образованию гомогенного покрытия из карбида ниобия. Проведен расчет изобарно-изотермического потенциала и констант равновесия по энтропийному методу, основанному на уравнению Гиббса - Гельмгольца. Показано, что снижение давления в реакционном объеме увеличивает вероятность протекания реакции, приводящей к образованию покрытия из карбида ниобия. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |