Электронно-микроскопический анализ градиентной структуры, формирующейся в титане при напылении твердого покрытия [Текст] / Ю. Ф. Иванов [и др.] // Известия вузов. Физика. - 2017. - Т. 60, № 5. - С. 118-125 : рис., табл. - Библиогр.: c. 125 (23 назв. ) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Химия Физико-химические методы анализа Кл.слова (ненормированные): дефектная субструктура -- многослойная градиентная структура -- напыление нитридного покрытия -- напыление твердого покрытия -- нитрид титана -- структура поверхностного слоя -- твердое нитридное покрытие -- технически чистый титан -- титан -- фазовый состав -- электронно-микроскопический анализ Аннотация: Осуществлено осаждение на образцы технически чистого титана марки ВТ1-0 покрытия нитрида титана толщиной 0. 5 мкм вакуумно-дуговым методом с плазменным ассистированием. Выявлено формирование многослойной многофазной высокодефектной структуры толщиной до 40 мкм. По морфологическому признаку выделены поверхностный и переходный слои. Показано, что поверхностный слой (толщина слоя 300-350 нм), основной фазой которого является TiN, имеет поликристаллическое строение (размер кристаллитов 20-50 нм). Переходный слой, основной фазой которого является Ti2N, делится на два подслоя. Подслой, примыкающий к поверхностному слою, имеет столбчатую структуру (поперечные размеры столбиков 50-80 нм). Подслой, примыкающий к основному объему образца, сформирован кристаллитами квазиравноосной формы (размер кристаллитов 150-280 нм). Высказано предположение, что основной причиной формирования многослойной многофазной структуры является многоступенчатость процесса модифицирования материала, реализуемого в условиях единого вакуума. Доп.точки доступа: Иванов, Ю. Ф.; Шугуров, В. В.; Крысина, О. В.; Петрикова, Е. А.; Иванова, О. В.; Толкачев, О. С. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |