Одиноков, В. Специальное оборудование для нанесения пленок и отжига материалов [Текст] / В. Одиноков, Ю. Бараник, В. Рагузин // Наноиндустрия. - 2009. - N 3. - С. 4-8 : ил.: 6 рис.
Рубрики: Радиоэлектроника Электровакуумные приборы Кл.слова (ненормированные): вакуумное оборудование -- опытно-промышленное оборудование -- напыление пленок -- наноматериалы -- отжиг ТМ-4 Аннотация: НИИ точного машиностроения специализируется на разработке вакуумного оборудования для нанесения тонких пленок, плазмохимического травления, ионной имплантации приповерхностных слоев. Доп.точки доступа: Бараник, Ю.; Рагузин, В.; Научно-исследовательский институт точного машиностроения; НИИТМ |