Моделирование и расчет пьезомодуля тонкой пленки цирконата-титаната свинца в тестовой микроструктуре [Текст] / В. В. Амеличев [и др. ] // Известия вузов. Электроника. - 2009. - N 3 (77). - С. 3-6 : рис. - Библиогр.: с. 6 (2 назв. ) . - ISSN 1561-5405
Рубрики: Энергетика Электроизолирующие материалы и изделия Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- микроэлектромеханические системы -- тонкие пленки -- титанат свинца -- цирконат свинца -- пьезомодули -- кремниевые балки -- механические напряжения -- конечно-элементные модели -- продольные перемещения -- тестовые микроструктуры Аннотация: Представлены результаты моделирования механических напряжений в тестовой структуре кремниевой балки и аналитического расчета пьезомодуля d{31} тонкой пленки цирконата-титаната свинца, расположенной в области упругого элемента. Рассчитаны характеристики чувствительного элемента ускорения на основе тонкой пленки ЦТС с инерционной массой из кремния. Доп.точки доступа: Амеличев, Владимир Викторович; Сайкин, Дмитрий Анатольевич; Рощин, Владимир Михайлович; Силибин, Максим Викторович |
Тимошенков, Сергей Петрович. Схема емкостного преобразователя линейных ускорений [Текст] / С. П. Тимошенков, А. С. Шалимов, С. А. Анчутин // Известия вузов. Электроника. - 2009. - N 80. - С. 79-81. - Библиогр.: с. 81 (2 назв. ) . - ISSN 1561-5405
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- микросистемы -- акселерометры -- емкостные акселерометры -- преобразователи Аннотация: Рассмотрено одно из возможных схемотехнических решений для разработки емкостных преобразователей линейных ускорений с чувствительным элементом дифференциального типа. Приведены результаты испытаний опытного образца. Доп.точки доступа: Шалимов, Андрей Сергеевич; Анчутин, Степан Александрович |
Тимошенков, Сергей Петрович. Схема емкостного преобразователя линейных ускорений [Текст] / С. П. Тимошенков, А. С. Шалимов, С. А. Анчутин // Известия вузов. Электроника. - 2009. - N 6. - С. 79-81 : рис. - Библиогр.: с. 81 (2 назв. )
Рубрики: Военное дело Стрелковое оружие Энергетика Преобразователи, выпрямители, инверторы Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- микросистемы -- емкостные акселерометры -- чувствительный элемент -- опытные образцы -- средства навигации Аннотация: Рассмотрено одно из возможных схемотехнических решений для разработки емкостных преобразователей линейных ускорений с чувствительным элементом дифференциального типа. Приведены результаты испытаний опытного образца. Доп.точки доступа: Шалимов, Андрей Сергеевич; Анчутин, Степан Александрович |
Двухканальный емкостный преобразователь ускорений [Текст] / С. П. Тимошенков [и др. ] // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - N 1. - С. 46-48. - Библиогр.: с. 48 (2 назв. ) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Военное дело Новейшие виды оружия Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- емкостные акселерометры -- емкостные преобразователи -- электронный узел -- электронная техника Аннотация: Рассматривается одна из возможных реализаций микромеханического акселерометра, выполненная с использованием отечественной микросхемы ОАО "Ангстрем" ххххЧМ2Т. Приводятся результаты испытаний опытного образца. Доп.точки доступа: Тимошенков, С. П.; Калугин, В. В.; Шалимов, А. С.; Анчутин, С. А.; Морозова, Е. С. |
Пивоненков, Б. И. Одно- и трехкомпонентные пьезорезистивные акселерометры с воздушным демпфированием [Текст] / Б. И. Пивоненков, В. М. Школьников // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - N 1. - С. 42-45. - Библиогр.: с. 45 (9 назв. ) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Физика Физические приборы и методы физического эксперимента Кл.слова (ненормированные): пьезорезистивный акселерометр -- чувствительный элемент -- МЭМС -- трехкомпонентный акселерометр -- воздушное демпфирование -- вибропрочность -- ударопрочность -- микроэлектромеханические системы Аннотация: Описаны конструктивно-технологические решения трех видов пьезорезистивных акселерометров с воздушным демпфированием: однокомпонентного и трехкомпонентного акселерометров с навесным грузом и интегрального однокомпонентного акселерометра (МЭМС акселерометра). Представлены результаты испытаний. Подтверждены высокие динамические и прочностные характеристики акселерометров. Показана целесообразность реализации трехкомпонентного акселерометра в виде интегральной МЭМС-структуры. Доп.точки доступа: Школьников, В. М. |
Мокров, Е. А. Тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с деформируемым диэлектриком [Текст] / Е. А. Мокров, Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - N 2. - С. 31-36. - Библиогр.: с. 36 (8 назв. ) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Механика Измерение механических и геометрических величин Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- деформируемый диэлектрик -- тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы -- планарные электроды -- цилиндрические электроды -- электроды Аннотация: Рассмотрены тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с деформируемым диэлектриком с планарными и цилиндрическими электродами. Определены оптимальные соотношения их основных элементов. Доп.точки доступа: Белозубов, Е. М.; Белозубова, Н. Е. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Белозубов, Е. М. Тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с монолитным диэлектриком [Текст] / Е. М. Белозубов // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - N 4. - С. 48-53. - Библиогр.: с. 53 (6 назв. ) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Механика Измерение механических и геометрических величин Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- монолитный диэлектрик -- тонкопленочные емкостные системы -- диэлектрик Аннотация: Рассмотрены тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с монолитным диэлектриком. Показаны преимущества и недостатки различных вариантов построения таких систем. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Пивоненков, Б. И. Критерий качества сенсоров механических величин [Текст] / Б. И. Пивоненков // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - N 10. - С. 42-48. . - Библиогр.: с. 48 (3 назв. )
Рубрики: Механика Измерение механических и геометрических величин Кл.слова (ненормированные): сенсор механических величин -- пьезорезистивный сенсор -- чувствительный элемент -- микроэлектромеханические системы -- критерий качества сенсоров -- информативность сигнала -- шумовое напряжение -- энергия деформации -- микроминиатюризация -- наносенсор Аннотация: Предлагается критерий качества сенсоров механических величин (отношение квадрата информативности - в трех вариантах, в зависимости от области применения сенсора - к энергии деформации сенсора). Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Крапивин, В. Ф. (доктор физико-математических наук; профессор). Нанотехнологии и их применение [Текст] = Nanotechnologies and their application / В. Ф. Крапивин, Ж. И. Потапов, В. Ю. Солдатов // Экономика природопользования. - 2010. - N 4. - С. 10-34. . - Библиогр.: с. 29-34 (51 назв. )
Рубрики: Наука. Науковедение Общие вопросы науки--Россия--США--Швеция; Япония; Германия, 21 в. нач. Кл.слова (ненормированные): нанотехнологии -- нанотехнологии в электронике -- электроника -- наноэлектроника -- нанотехнологии в медицине -- наномедицина -- бионанотехнологии -- нанотехнологии в энергетике -- энергетика -- ядерная энергетика -- нанотехнологии в лесном хозяйстве -- лесное хозяйство -- нанотехнологии в охране окружающей среды -- охрана окружающей среды -- информационно-измерительные системы -- спектральные измерения -- оптика -- оптические приборы -- популяризационно-оптические приборы -- хроматография -- водная среда -- водные растворы -- спектроэллипсометрия -- спектрометрия -- эллипсометрия -- спектральные образы -- природные иерархические структуры -- иерархические структуры -- природно-антропогенные системы -- антропогенные системы -- экологический мониторинг -- адаптивные идентификаторы -- идентификаторы -- экспертные системы -- спектрополяриметры -- микроэлектромеханические системы -- электромеханические системы -- зондовая нанотехнология -- зондовые микроскопы -- микроскопы -- туннельные микроскопы -- углеродные нанотрубки -- нанотрубки -- атомно-силовые микроскопы -- углеродная электроника -- магнитная память -- нанороботы -- молекулярные материалы -- зарубежный опыт Аннотация: Дается обзор отечественных и зарубежных исследований в области нанотехнологий и их применения в различных областях науки, техники и хозяйственной деятельности. Рассмотрены достижения по применению нанотехнологий в электронике, медицине, лесном хозяйстве, спектроэллипсометрии, энергетике и других областях. Отмечены успехи и недостатки проведенных исследований. Обсуждены перспективы применения нанотехнологий в решении многих антропогенных проблем. Доп.точки доступа: Потапов, И. И. (кандидат технических наук); Солдатов, В. Ю.; Институт радиотехники и электроники РАН; РАНРоссийская корпорация нанотехнологий РОСНАНО; РОСНАНО; NT-MDT, компания; Компания "NT-MDT"; Нанотехнологии в электронике, центр; Центр "Нанотехнологии в электронике"; Нанотехнология и молекулярные материалы, центр; Центр "Нанотехнология и молекулярные материалы" Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Пивоненков, Б. И. Трехкомпонентный пьезорезистивный МЭМ-акселерометр [Текст] / Б. И. Пивоненков, В. М. Школьников // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - N 11. - С. 43-47. . - Библиогр.: с. 47 (4 назв. )
Рубрики: Механика Измерение механических и геометрических величин Кл.слова (ненормированные): пьезорезистивный акселерометр -- чувствительный элемент -- микроэлектромеханические системы -- трехкомпонентный акселерометр Аннотация: Описан трехкомпонентный пьезорезистивный МЭМ-акселерометр с одним упругим элементом, с воздушным демпфированием и ограничителями перемещения груза. Обоснованы и расчитаны оптимальные параметры акселерометра: внутренний размер чувствительного элемента для разных толщин пластины, длина и ширина перемычек, уточнены требования к тензорезисторам. Доп.точки доступа: Школьников, В. М. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Белозубова, Н. Е. Метод минимизации влияния нестационарных температур и виброускорений на датчики давлений на основе тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем [Текст] / Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника. - 2011. - N 3. - С. 24-30. . - Библиогр.: с. 30 (6 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Теоретические основы радиотехники Кл.слова (ненормированные): нестационарная температура -- идентичные тензоэлементы -- микроэлектромеханические системы -- датчики давлений -- виброускорения Аннотация: Предложен метод минимизации влияния нестационарных температур и виброускорений на датчики давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Раткин, Л. Перспективы развития МЭМС-технологий [Текст] / Л. Раткин // Наноиндустрия. - 2011. - N 3. - С. 32-34.
Рубрики: Радиоэлектроника--Россия--Москва Электроника в целом Техника Организация промышленного производства Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- микроэлектромеханические системы -- НЧ-реле -- ММИД -- многоканальные модули измерения давления Аннотация: 19 апреля 2011 года Русская ассоциация разработчиков, производителей и потребителей микроэлектромеханических систем (Русская Ассоциация МЭМС) провела в Москве Международный форум, на котором обсуждались современные технологии производства и перспективы развития МЭМС-устройств. Доп.точки доступа: Русская ассоциация разработчиков, производителей и потребителей микроэлектромеханических систем Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Михайлов, Михаил Николаевич. Проект кластера микроэлектромеханики в Зеленограде [Текст] : организационное обеспечение процессов разработки и производства микроэлектромеханических систем на основе кластерного подхода / Михайлов Михаил Николаевич // Российское предпринимательство. - 2012. - № 3 (201). - С. 164-168. . - Библиогр.: с. 168 (2 назв.)
Рубрики: Экономика Экономика машиностроительной промышленности--Россия--Зеленоград Кл.слова (ненормированные): микромеханика -- микроэлектромеханика -- микроэлектромеханические системы -- MEMS -- разработка микроэлектромеханических систем -- производство микроэлектромеханических систем -- кластеры -- кластерный подход -- микромеханические кластеры -- микромеханические приборы -- научно-исследовательский потенциал -- производственный потенциал -- производственное оборудование -- инфраструктура -- производственные мероприятия -- сбыт продукции -- рынки сбыта продукции Аннотация: Представлена модель кластера микроэлектромеханических систем, разработанная для реализации в городе Зеленограде. Определена структура кластера, проведена оценка научно-технического и производственного потенциала. Выявлены будущие участники и потребители продукции кластера. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Футько, С. И. Влияние температурного режима в космосе на макрокинетические характеристики зажигания и горения твердотопливного заряда миниатюрного двигателя микроэлектромеханической системы [Текст] / С. И. Футько, В. П. Бондаренко, Л. Н. Долгий // Инженерно-физический журнал. - 2012. - Т. 85, № 2. - С. 361-369 : 4 табл., 6 рис. - Библиогр.: с. 369 (13 назв. ) . - ISSN 0021-0285
Рубрики: Химическая технология Технология переработки твердых горючих ископаемых Кл.слова (ненормированные): твердое смесевое топливо -- горение твердых топлив -- математическое моделирование -- ракетные двигатели на твердом топливе -- МЭМС технологии -- микроэлектромеханические системы -- мини-двигатель -- макрокинетика -- глицидилазидополимеры -- гексаген -- скорость горения -- импульс тяги -- начальная температура -- микрокосмические аппараты -- наноспутники -- тепловой режим Аннотация: На основе макрокинетических расчетов исследовано влияние начальной температуры на импульсные характеристики, процессы зажигания и горения твердотопливного заряда мини-двигателя микроэлектромеханической системы (МЭМС) на твердом топливе глицидилазидополимер (ГАП) /гексоген. Доп.точки доступа: Бондаренко, В. П.; Долгий, Л. Н. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Драгунов, В. П. Анализ влияния pull-in эффекта на параметры трехэлектродных МЭМС [Текст] / В. П. Драгунов, В. Ю. Доржиев // Доклады Академии наук высшей школы России. - 2013. - № 2 (21). - С. 87-97 : граф. - Библиогр.: с. 97 (7 назв.). - Аннот. на англ. яз.: с. 97 . - ISSN 1811-0916
Рубрики: Радиоэлектроника Теория информации. Общая теория связи Кл.слова (ненормированные): широкополосные трансформаторы -- трехэлектродная МЭМС -- математические модели -- МЭМС -- микроэлектромеханические системы Аннотация: Разработана математическая модель, описывающая поведение трехэлектродной МЭМС в предположении. Доп.точки доступа: Доржиев, В. Ю. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Драгунов, Валерий Павлович (доктор технических наук ; доцент). Моделирование характеристик одноконденсаторного МЭМС-преобразователя с плоскопараллельными электродами [Текст] / В. П. Драгунов, В. Н. Васюков, В. Ю. Доржиев // Доклады Академии наук высшей школы Российской Федерации. - 2015. - № 4 (29). - С. 59-70. - Библиогр.: с. 68-69 (8 назв.). - Аннот. на англ. яз.: с. 69 . - ISSN 1727-2769
Рубрики: Энергетика Конденсаторы Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- МЭМС-преобразователи -- механические колебания -- широкополосная случайная вибрация -- преобразование энергии -- периодограммы -- плоскопараллельные электроды -- микросистемная техника Аннотация: Развита математическая модель и проведено моделирование работы одноконденсаторного электростатического микроэлектромеханического преобразователя энергии механических колебаний в электрическую. Доп.точки доступа: Васюков, Василий Николаевич (доктор технических наук ; профессор); Доржиев, Виталий Юрьевич (аспирант) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Драгунов, Валерий Павлович (доктор технических наук ; доцент). Влияние краевых эффектов на функционирование МЭМС [Текст] / В. П. Драгунов, В. Ю. Доржиев // Доклады Академии наук высшей школы Российской Федерации. - 2016. - № 1. - С. 48-61 : рис. - Библиогр.: с. 59 (13 назв.). - Аннот. на англ. яз.: с. 59-60 . - ISSN 1727-2769
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- аппроксимационные формулы -- краевые эффекты -- метод граничных элементов -- метод площадок -- микроэлектромеханические системы -- плоскопараллельная двухэлектродная структура -- теоретические расчеты -- экспериментальные исследования Аннотация: Исследовано влияние краевых эффектов на функционирование МЭМС. Доп.точки доступа: Доржиев, Виталий Юрьевич Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Драгунов, Валерий Павлович (доктор технических наук ; доцент). Влияние непараллельных электродов на характеристики микромеханических конденсаторов [Текст] / В. П. Драгунов, В. Ю. Доржиев, Д. И. Лойко // Доклады Академии наук высшей школы Российской Федерации. - 2016. - № 3 (32). - С. 54-64 : рис. - Библиогр.: с. 61-62 (21 назв.). - Аннот. на англ. яз.: с. 62-63 . - ISSN 1727-2769
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- двухэлектродные модели -- краевые эффекты -- микромеханические конденсаторы -- микроэлектромеханические системы -- непараллельные электроды -- результаты исследований -- электростатические силы Аннотация: Представлены результаты исследований влияния непараллельных электродов на электростатические силы в МЭМС. Доп.точки доступа: Доржиев, Виталий Юрьевич; Лойко, Даниил Игоревич Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Драгунов, Валерий Павлович (доктор технических наук; профессор). Влияние непараллельности электродов на характеристики МЭМС в режиме с контролируемым зарядом [Текст] / В. П. Драгунов, Р. Е. Синицкий, Д. Е. Киселев // Доклады Академии наук высшей школы Российской Федерации. - 2017. - № 1 (34). - С. 58-71 : рис. - Библиогр.: с. 68-69 (15 назв.). - Аннот. на англ. яз.: с. 69-70 . - ISSN 1727-2769
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- контролируемое смещение электрода -- контролируемые заряды -- микроэлектромеханические системы -- преобразование энергии -- режим работы -- электромеханические взаимодействия -- электростатическая сила Аннотация: Представлены результаты исследований влияния непараллельности электродов на характеристики МЭМС в режиме с контролируемым зарядом. Доп.точки доступа: Синицкий, Родион Евгеньевич; Киселев, Дмитрий Евгеньевич Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Остертак, Дмитрий Иванович (кандидат технических наук; доцент). Анализ электростатических взаимодействий в плоскопараллельных МЭМС с учетом краевых эффектов в 3D-приближении [Текст] / Д. И. Остертак // Доклады Академии наук высшей школы Российской Федерации. - 2017. - № 1 (34). - С. 116-132 : рис. - Библиогр.: с. 130 (11 назв.). - Аннот. на англ. яз.: с. 130-131 . - ISSN 1727-2769
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): 3D-приближение -- МЭМС -- аппроксимационные формулы -- краевые эффекты -- метод конечных элементов -- микроэлектромеханические системы -- плоскопараллельные конденсаторы -- электрические емкости -- электростатические силы Аннотация: Представлены результаты исследований электростатических взаимодействий в МЭМС с плоскопараллельными электродами в 3D-приближении. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |