Исследование сложнопрофильных микрообъектов методами атомной силовой микроскопии [Текст] / А. И. Галушков [и др. ] // Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 1. - С. 83-84 : ил. - Библиогр.: с. 84 (2 назв. )
Рубрики: Вычислительная техника Оргтехника Кл.слова (ненормированные): микроскопия -- тонкие пленки -- микроэлектроника -- микросистемная техника -- исследования -- сложнопрофильные микрообъекты -- методы -- микрообъекты Аннотация: Продемонстрированы примеры решения задач с использованием атомной силовой микроскопии (АСМ). Доп.точки доступа: Галушков, Александр Иванович; Годовицын, Игорь Валерьевич; Сауров, Александр Николаевич; Краснобородько, Сергей Юрьевич; Шевяков, Василий Иванович |
Горнев, Е. С. (д-р техн. наук). Датчики становятся меньше, функциональнее и умнее... [Текст] / Е. С. Горнев // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - 1813-8586, N 5. - 011 . 18-28 . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): датчики -- микросистемная техника -- программа развития Аннотация: Высокий уровень автоматизации производства требует большого числа различных датчиков, фиксирующих состояние процесса, его отклонения и дающие сигнал на его удержание в заданных рамках. |
Егоркина, Регина Юрьевна. Модернизация системы мониторинга отходов производства изделий нано- и микросистемной техники [Текст] / Р. Ю. Егоркина // Известия вузов. Электроника. - 2010. - N 3. - С. 90-91. : рис. - Библиогр.: с. 91 (3 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Радиоэлектроника в целом Экология Общие вопросы охраны окружающей среды Кл.слова (ненормированные): нанотехнологии -- мониторинг отходов -- компонентный состав -- класс опасности -- микросистемная техника -- исследования Аннотация: Проведен анализ системы Федерального классификационного каталога отходов. Выполнен расчет класса опасности образующихся отходов, определен их компонентный состав и на основе проведенных исследований результатов сделаны предложения по внедрению дополнительного информационного блока, содержащего данные о конечном этапе цикла производства изделий нано- и микросистемной техники. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Расчет терморезистивного анемометрического преобразователя на мембране [Текст] / А. А. Бобров [и др. ] // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - N 8. - С. 34-39. . - Библиогр.: с. 39 (6 назв. )
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): микросистемная техника -- преобразователь расхода газа -- термокомпенсированная мембрана -- терморезисторы -- динамический диапазон измерений -- скорость потока Аннотация: Дан теоретический анализ температурного режима работы в стационарном режиме терморезистивного анемометра на основе кремниевой мембраны в качестве сенсора, регистрирующего значение скорости и расхода газового потока. Описана конструкция разрабатываемого анемометрического преобразователя, его термодинамическая модель и обсуждается связь его конструктивных параметров с выходными характеристиками сенсора. Доп.точки доступа: Бобров, А. А.; Попков, А. Ф.; Дюжев, Н. А.; Кулагин, Н. Е.; Махиборода, М. А.; Медников, А. М. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Двухполюсный позиционно-чувствительный фотодатчик с отрицательной дифференциальной проводимостью [Текст] / С. Г. Новиков [и др. ] // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - N 12. - С. 35-37. . - Библиогр.: с. 37 (5 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Фотоэлектрические приборы Кл.слова (ненормированные): позиционно-чувствительный фотодатчик -- полупроводниковые приборы -- фотодатчик -- фотоприемники -- микросистемная техника Аннотация: Рассмотрен двухполосный позиционно-чувствительный фотодатчик с отрицательной дифференциальной проводимостью (ОДП). Фотодатчик представляет собой аналоговый комбинированный прибор, реализованный на основе биполярно-полевого элемента с ОДП и полупроводникового позиционно-чувствительного фотоприемника. Доп.точки доступа: Новиков, С. Г.; Гурин, Н. Т.; Корнеев, И. В.; Родионов, В. А. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Прокофьев, И. В. Нано- и микросистемы для мониторинга параметров движения транспортных средств [Текст] / И. В. Прокофьев, Р. Д. Тихонов // Нано- и микросистемная техника. - 2011. - № 12. - С. 48-50. . - Библиогр.: с. 50 (9 назв. )
Рубрики: Энергетика Детали и узлы электрических аппаратов Кл.слова (ненормированные): магнитные датчики -- магниторезисторы -- нанотехнологии -- микросистемная техника -- транспортные средства -- акселерометры Аннотация: Рассматривается возможность применения МЭМС- и НЭМС-структур для мониторинга параметров движения транспортных средств. Описаны конструкции магнитно-резистивных датчиков, а также магнитные датчики, сопряженные с акселерометрами. Доп.точки доступа: Тихонов, Р. Д. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Васильев, В. А. Моделирование и анализ поверхностей тонких пленок материалов [Текст] / В. А. Васильев, П. С. Чернов // Инженерная физика. - 2012. - № 2. - С. 25-30 : ил. - Библиогр.: с. 30 (12 назв.) . - ISSN 2072-9995
Рубрики: Приборостроение Приборостроение в целом Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- стохастические клеточные автоматы -- морфология поверхности -- микросистемная техника -- атомно-силовая микроскопия -- случайное осаждение -- поверхность тонких пленок -- теория клеточных автоматов Аннотация: Рассматривается проблема моделирования роста поверхности тонких пленок материалов. Предложена модель роста поверхности тонких пленок, представляющая собой стохастический клеточный автомат и позволяющая исследовать влияние температуры подложки, скорости и времени осаждения. Проведено сравнение результатов моделирования с данными атомно-силовой микроскопии экспериментально полученных образцов тонких пленок. Доп.точки доступа: Чернов, П. С. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Нелинейная динамика вибрационных микромеханических гироскопов [Текст]. Ч. I. Обзор исследований / В. А. Крысько [и др.] // Вестник Саратовского государственного технического университета. - 2012. - № 65. - С. 18-24 : ил. - Библиогр.: с. 24 (67 назв.) . - ISSN 1999-8341
Рубрики: Механика Динамика--Россия Кл.слова (ненормированные): нелинейная динамика -- гироскопы -- микромеханические гироскопы -- вибрационные гироскопы -- обзоры -- навигация -- микросистемная техника -- динамические системы Аннотация: Обзор достижений за последние десятилетия в России и за рубежом по нелинейной динамике вибрационных микромеханических гироскопов.Provides an overview over the last decade achievements in Russia and abroad on nonlinear dynamics of vibration micromechanical gyroscope. Доп.точки доступа: Крысько, Вадим Анатольевич (доктор технических наук; профессор); Ярошенко, Татьяна Юрьевна (кандидат технических наук; доцент); Жигалов, Максим Викторович (кандидат технических наук; доцент); Мицкевич, Светрлана Александровна (кандидат физико-математических наук; доцент); Крысько, Антон Вадимович (доктор физико-математических наук; профессор) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Драгунов, Валерий Павлович (доктор технических наук ; доцент). Моделирование характеристик одноконденсаторного МЭМС-преобразователя с плоскопараллельными электродами [Текст] / В. П. Драгунов, В. Н. Васюков, В. Ю. Доржиев // Доклады Академии наук высшей школы Российской Федерации. - 2015. - № 4 (29). - С. 59-70. - Библиогр.: с. 68-69 (8 назв.). - Аннот. на англ. яз.: с. 69 . - ISSN 1727-2769
Рубрики: Энергетика Конденсаторы Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- МЭМС-преобразователи -- механические колебания -- широкополосная случайная вибрация -- преобразование энергии -- периодограммы -- плоскопараллельные электроды -- микросистемная техника Аннотация: Развита математическая модель и проведено моделирование работы одноконденсаторного электростатического микроэлектромеханического преобразователя энергии механических колебаний в электрическую. Доп.точки доступа: Васюков, Василий Николаевич (доктор технических наук ; профессор); Доржиев, Виталий Юрьевич (аспирант) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |