Экспресс-методика измерения параметров технологических электронных пучков [Текст] / А. В. Щербаков [и др.] // Электротехника. - 2016. - № 8. - С. 62-67 . - ISSN 0013-5860
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): электронно-лучевые технологии -- измерительные устройства -- системы сбора данных -- методы диагностики пучков частиц -- электронные пучки -- аксиально-симметричные электронные пучки -- дискретизация Аннотация: Предложена экспресс-методика прямого измерения распределения плотности тока аксиально-симметричных электронных пучков. Показано, что применение методики актуально для повышения воспроизводимости результатов электронно-лучевой обработки. Выполнен сравнительный анализ существующих методов измерения параметров электронных пучков, применяемых в технологических целях. Разработаны методика восстановления радиального распределения плотности тока электронного пучка и устройство для ее реализации. Проведен анализ результатов восстановления радиального распределения для случая, когда исходное распределение задано в виде модельной функции нормального распределения. Разработан алгоритм определения размеров расчетной области, в пределах которой осуществляется дискретизация пространственного распределения. На основании анализа результатов экспериментальных зависимостей показано, что предложенный численный метод применим для любых типов аксиально-симметричных распределений. Проанализирована природа погрешностей, возникающих при восстановлении функций распределения, и дан прогноз развития систем экспресс-диагностики технологических электронных пучков с учетом характеристик существующей компонентной базы. Доп.точки доступа: Щербаков, А. В.; Гончаров, А. Л.; Кожеченко, А. С.; Погребисский, М. Я.; Рубцов, В. П.; Драгунов, В. К. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |