Оптические свойства пленок GaN/Al[2]O[3], легированных кремнием [Текст] / Н. С. Заяц [и др. ] // Физика и техника полупроводников. - 2009. - Т. 43, вып. 5. - С. 617-620
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): кристаллические пленки -- широкозонные полупроводники -- газофазная эпитаксия -- запрещенная зона -- легирование пленок Аннотация: Проведены морфологические и оптические исследования пленок GaN, легированных кремнием (уровень легирования N[Si]=1. 5 х 10\{19\} см\{-3\}), выращенных методом газофазной эпитаксии из металлорганических соединений на подложках из сапфира, ориентированных по кристаллографической оси c. Для выращенных пленок GaN получены следующие физические параметры: энергия электронного перехода E[0], коэффициент поглощения альфа, показатель преломления n, частоты поперечных и продольных оптических колебаний решетки, характерные для кристаллических пленок GaN. Доп.точки доступа: Заяц, Н. С.; Генцарь, П. А.; Бойко, В. Г.; Литвин, О. С.; Вуйчик, Н. В.; Стронский, А. В.; Янчук, И. Б. |
Сафонов, Д. А. Оптимизация параметров легирования атомами пленок Al, Fe, Mo на поверхности образцов сплавов циркония под облучением пучками ионов аргона [Текст] / Д. А. Сафонов, А. С. Яшин, Н. В. Волков // Известия РАН. Серия физическая. - 2018. - Т. 82, № 2. - С. 221-224. - Библиогр.: c. 224 (11 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): ионное перемешивание -- ионы аргона -- легирование пленок -- сплавы циркония Аннотация: Рассмотрено влияние процесса распыления системы "пленка-подложка" при модифицировании приповерхностных слоев сплава циркония Э110 (Zr-1%Nb) в режиме ионного перемешивания под облучением пучком ионов аргона с широким энергетическим спектром. Показано, что для повышения эффективности проникновения внедряемых атомов и реализации оптимальных условий легирования методом ионного перемешивания при облучении пучком ионов с широким энергетическим спектром можно увеличивать энергию ионов в пучке с одновременным уменьшением приведенной атомной массы пучка, которое реализовано применением комбинированного по составу пучка ионов разных масс. Доп.точки доступа: Яшин, А. С.; Волков, Н. В. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |