Пилипенко, В. А. Влияние быстрой термической обработки на электрофизические свойства двуокиси кремния [Текст] / В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, В. А. Горушко> // Инженерно-физический журнал. - 2018. - Т. 91, № 5. - С. 1408-1412 : 2 рис., 2 табл. - Библиогр.: с. 1412 (9 назв. ) . - ISSN 0021-0285
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Импульсные устройства Кл.слова (ненормированные): быстрая термическая обработка -- электрофизические свойства -- двуокись кремния -- нарушенный слой -- кремниевые пластины -- твердофазная рекристаллизация -- коэффициент преломления -- коэффициент поглощения Аннотация: Исследована возможность улучшения электрофизических параметров подзатворного диэлектрика, полученного в результате пирогенного окисления кремния, путем его быстрой термической обработки. Показано, что такая обработка подзатворного диэлектрика позволяет уменьшить напряжение плоских зон, заряд на границе раздела кремний-двуокись кремния и поверхностный потенциал, увеличить пробивное напряжение диэлектрика и уменьшить ток утечки в нем. Доп.точки доступа: Солодуха, В. А.; Горушко, В. А. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |