Моделирование процесса квазипластичной поверхностной обработки твердых хрупких материалов электронной техники [Текст] / Т. Б. Теплова[и др. ] // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - N 11. - С. 20-23. . - Библиогр.: с. 23 (7 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): лейкосапфир -- микроэлектроника -- квазипластичная поверхностная обработка -- подложки -- шероховатость Аннотация: В настоящее время проявляется значительный интерес к использованию в микроэлектронике очень твердых кристаллических материалов, таких как сапфир или алмаз. Для их применения требуется высококачественная обработанная поверхность с минимальной дефектностью подповерхностного слоя. Квазипластичное послойное разрушение сверхтонких слоев в твердых материалах при их обработке было исследовано в наших экспериментах. Доп.точки доступа: Теплова, Т. Б.; Гридин, О. М.; Соловьев, В. В.; Ашкинази, Е. Е.; Ральченко, В. Г. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Соловьев, В. В. Модель прецизионной обработки твердых хрупких кристаллических материалов с получением нанометрового рельефа поверхности [Текст] / В. В. Соловьев // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - N 12. - С. 10-14. . - Библиогр.: с. 14 (5 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): лейкосапфир -- микроэлектроника -- квазипластичная поверхностная обработка -- подложки -- шероховатость -- алмазы -- нанотехнологии -- алмазное шлифование Аннотация: Монокристаллы лейкосапфира благодаря своим свойствам находят широкое применение при производстве высокотехнологичных изделий в области нанотехнологий. Шероховатость поверхности подложки является важным параметром при изготовлении высокочастотных приборов. Перспективный метод квазипластичной обработки позволяет получать на этапе алмазного шлифования высококачественную поверхность. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |