Угловые распределения плазменных потоков в вакуумной дуге с боросодержащими катодами [Текст] / А. Г. Николаев [и др.] // Известия вузов. Физика. - 2017. - Т. 60, № 9. - С. 62-65 : рис. - Библиогр.: c. 65 (15 назв. ) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Энергетика Теоретические основы электротехники Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): вакуумная дуга -- гексаборид лантана -- ионы бора -- карбид бора -- плазма вакуумного дугового разряда -- плазменные потоки -- распределения плазменных потоков -- угловые распределения ионов Аннотация: Представлены результаты исследований углового распределения и масс-зарядового состава потока ионов плазмы импульсного вакуумного дугового разряда, функционирующего с катодами, выполненными из гексаборида лантана и карбида бора. Показано, что разряд с такими катодами обеспечивает эффективную генерацию плазмы с высоким содержанием ионов бора с зарядовыми состояниями от 1+ до 3+, суммарная доля которых определяется долей атомов бора в материале катода. Угловые распределения ионов потока плазмы зависят от соотношения массы компонентов материала катода: в случае использования катода из гексаборида лантана угловое распределение ионов бора более широкое, чем ионов лантана, а в случае катода из карбида бора распределения ионов бора и углерода практически совпадают. Доп.точки доступа: Николаев, А. Г.; Окс, Е. М.; Фролова, В. П.; Юшков, Г. Ю. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Генерация ионов бора для пучковых и плазменных технологий [Текст] / А. С. Бугаев [и др.] // Известия вузов. Физика. - 2019. - Т. 62, № 7. - С. 19-24. - Библиогр.: с. 24 (19 назв. ) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Теоретическая физика Радиоэлектроника Электровакуумные приборы Кл.слова (ненормированные): генерация ионов бора -- генерация плазмы -- генерация потоков атомов -- генерация потоков ионов -- ионный имплантер -- ионы бора -- кристаллический бор -- магнетронное распыление -- нанесение покрытий -- планарный магнетрон -- поверхности конструкционных материалов -- покрытия на основе бора -- технологии модификации свойств поверхности -- технологии упрочнения поверхности -- тонкие пленки бора -- электронно-лучевое испарение Аннотация: Актуальность исследования процессов генерации пучков и плазмы, содержащих ионы бора, обусловлена их потребностью для ионно-пучковых и плазменных технологий модификации свойств поверхности не только полупроводниковых, но и конструкционных материалов. Это связано с тем, что соединения бора являются твердыми химически стойкими материалами и на их основе возможно создание упрочняющих и защитных покрытий поверхности широкой номенклатуры деталей. Представлены принцип работы и характеристики экспериментального оборудования, разработанного для генерации плазмы и пучков ионов бора для создания таких покрытий, а именно: источника ионов на основе вакуумной дуги с сепарацией изотопов бора в магнитном поле для осуществления высокодозной ионной имплантации, генератора плазмы с мишенью из бора для нанесения покрытий методом магнетронного распыления и форвакуумного электронного источника для синтеза на поверхности борсодержащих покрытий методом электронно-лучевого испарения. Доп.точки доступа: Бугаев, А. С.; Визирь, А. В.; Гушенец, В. И.; Николаев, А. Г.; Окс, Е. М.; Савкин, К. П.; Юшков, Ю. Г.; Тюньков, А. В.; Фролова, В. П.; Шандриков, М. В.; Юшков, Г. Ю. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |