Перинская, И. В. Аппаратурное оформление имплантации ионов аргона и протонов в технологических применениях [Текст] / И. В. Перинская, В. Н. Лясников, В. В. Перинский // Вестник Саратовского государственного технического университета. - 2008. - N 36. - С. 53-56 : ил. - Библиогр.: с. 56 (1 назв. ) . - ISSN 1999-8341
Рубрики: Химия Физическая химия в целом Кл.слова (ненормированные): ионное легирование -- спектры источника -- имплантация ионов -- ионы аргона -- протоны -- аппаратурное оформление -- технологические процессы Аннотация: Изучены спектры ионного источника установки ионного легирования при различных вытягивающих напряжениях и токе масс-сепаратора. Уточнено, что использование полученных спектров ионного источника позволяет быть уверенным в практически полном исключении возможности попадания ионов отличных масс. Доп.точки доступа: Лясников, В. Н.; Перинский, В. В. |
Электронный парамагнитный резонанс и фотолюминесценция в пиролитических пленках нитрида кремния при ионном облучении аргоном и молекулярным азотом [Текст] / Е. С. Демидов [и др. ] // Физика и техника полупроводников. - 2009. - Т. 43, вып. 7. - С. 961-965 : ил. - Библиогр.: с. 965 (14 назв. ) . - ISSN 0015-3222
Рубрики: Энергетика Проводниковые материалы и изделия Кл.слова (ненормированные): электронный парамагнитный резонанс -- ЭПР -- фотолюминесценция -- ФЛ -- нитрид кремния -- ионное облучение -- облучение ионами -- пиролитические пленки -- молекулярный азот -- аргон -- ионы аргона -- азот -- ионы азота -- электронные переходы -- отжиг -- температура отжига Аннотация: При 293 K исследовались фотолюминесценция и электронный парамагнитный резонанс пиролитических пленок нитрида кремния, облученных ионами аргона или молекулярными ионами азота и отожженных при температурах 500-1100{o}C. Спектр поглощения свидетельствует о том, что широкая полоса фотолюминесценции в области 400-600 нм связана с электронными переходами между хвостами зон. Облучение ионами аргона с малыми дозами незначительно понижает интенсивность фотолюминесценции, а с большими дозами может после отжигов при 800-900{o}C усиливать ее более чем в 2 раза. Вместе с тем облучение ионами азота приводит к значительному, более чем на порядок, уменьшению интегральной интенсивности фотолюминесценции. Наблюдалась корреляция изменения интенсивности фотолюминесценции и амплитуды спектров электронного парамагнитного резонанса при отжигах пленок нитрида кремния. Доп.точки доступа: Демидов, Е. С.; Добычин, Н. А.; Карзанов, В. В.; Марычев, М. О.; Сдобняков, В. В. |
Особенности модифицирования цилиндрической поверхности под воздействием радиального пучка ионов аргона с энергией до 5 кэВ [Текст] / Б. А. Калин [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2016. - Т. 80, № 2. - С. 165-167 : рис. - Библиогр.: c. 167 (6 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): ионная бомбардировка -- ионы аргона -- механическая абразивная обработка -- установка ИЛУР-03 -- цилиндрические поверхности -- эффект ионной полировки Аннотация: Исследованы особенности ионного модифицирования внешней поверхности трубчатых образцов из сплава Э110 (Zr 1% Nb). Образцы были обработаны радиальным ионным пучком ионов аргона. Доп.точки доступа: Калин, Б. А.; Волков, Н. В.; Яшин, А. С.; Валиков, Р. А.; Якуткина, Т. В. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Сафонов, Д. А. Оптимизация параметров легирования атомами пленок Al, Fe, Mo на поверхности образцов сплавов циркония под облучением пучками ионов аргона [Текст] / Д. А. Сафонов, А. С. Яшин, Н. В. Волков // Известия РАН. Серия физическая. - 2018. - Т. 82, № 2. - С. 221-224. - Библиогр.: c. 224 (11 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): ионное перемешивание -- ионы аргона -- легирование пленок -- сплавы циркония Аннотация: Рассмотрено влияние процесса распыления системы "пленка-подложка" при модифицировании приповерхностных слоев сплава циркония Э110 (Zr-1%Nb) в режиме ионного перемешивания под облучением пучком ионов аргона с широким энергетическим спектром. Показано, что для повышения эффективности проникновения внедряемых атомов и реализации оптимальных условий легирования методом ионного перемешивания при облучении пучком ионов с широким энергетическим спектром можно увеличивать энергию ионов в пучке с одновременным уменьшением приведенной атомной массы пучка, которое реализовано применением комбинированного по составу пучка ионов разных масс. Доп.точки доступа: Яшин, А. С.; Волков, Н. В. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |