Исследование структуры и свойств барьерных слоев в металлах (Fe, Cu) при низких энергиях [Текст] / К. А. Кутербеков [и др.] // Известия вузов. Физика. - 2016. - Т. 59, № 7. - С. 59-64 : рис., табл. - Библиогр.: c. 64 (9 назв. ) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика Молекулярная физика в целом Кл.слова (ненормированные): барьерные слои -- имплантация ионов кислорода -- ионная имплантация -- ионно-плазменное распыление -- кинетика процессов диффузии -- слои металлических материалов -- слоистая система Fe-Be -- термическая стабильность -- фазовые превращения Аннотация: Проведены экспериментальные исследования влияния барьерного слоя на кинетику термически индуцированных процессов диффузии и фазовых превращений в слоистой системе Fe-Be при энергии ~ 1. 6 МэВ. В результате установлена термическая стабильность барьерного слоя в системе Fe: O{+} и показана возможность применения в качестве подповерхностного слоя для бериллиевого покрытия; в системе Cu: О{+} показано, что уже при температуре отжига ~ 180° С происходит "расползание" имплантированного слоя в матрице, следовательно, данный слой в матрице меди не может быть применен в качестве подповерхностного барьерного слоя. Впервые предложен и реализован метод замедления процессов диффузии и фазообразования в слоистой системе железо - бериллий с помощью имплантированного слоя ионов кислорода. Определена последовательность и характерные времена термически индуцированных процессов фазовых превращений в приповерхностных слоях и в объеме систем Fe (10 мкм) : O{+} - Be (0. 7 мкм) - 57{Fe} (0. 1 мкм) и Fe (10 мкм) - Be (0. 7 мкм) - 57{Fe} (0. 1 мкм). Доп.точки доступа: Кутербеков, К. А.; Нуркенов, С. А.; Кислицин, С. Б.; Кукетаев, Т. А.; Тусупбекова, А. К. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Распыление кремния и диоксида кремния низкоэнергетичными ионами плотной азотной и аргоновой плазмы [Текст] / В. И. Бачурин [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2018. - Т. 82, № 2. - С. 146-149. - Библиогр.: c. 149 (11 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): диоксид кремния -- интегральные микросхемы -- ионно-плазменное распыление -- ионы азота -- микроэлектромеханические системы -- облучение ионами азота -- химическое распыление Аннотация: Представлены результаты по распылению кремния и диоксида кремния низкоэнергетичными ионами аргоновой и азотной плазмы высокочастотного индукционного разряда. Установлено, что скорость распыления кремния ионами аргона в 1. 3 раза больше, чем его соединения. В то же время при бомбардировке поверхности образцов ионами азота скорость распыления диоксида кремния более, чем в два раза превышает скорость распыления кремния. Обнаруженный эффект объясняется модификацией поверхности кремния и присутствием механизма химического распыления диоксида кремния при облучении образцов ионами азота. Доп.точки доступа: Бачурин, В. И.; Изюмов, М. О.; Амиров, И. И.; Шуваев, Н. О. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Варьирование состава сегнетоэлектрических пленок при ионно-плазменном распылении: эксперимент и моделирование [Текст] / А. В. Тумаркин [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2018. - Т. 82, № 3. - С. 395-401. - Библиогр.: c. 400-401 (22 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): ионно-плазменное распыление -- сегнетоэлектрические пленки -- твердые растворы -- электрофизические свойства Аннотация: Экспериментально исследовано изменение элементного состава сегнетоэлектрических тонких пленок твердых растворов титанатов, цирконатов и станнатов бария и стронция, полученных методом ионно-плазменного распыления керамических мишеней при различных давлениях рабочего газа. Интерпретация полученных экспериментальных результатов проведена на основе статистического моделирования процессов транспорта потоков распыленных атомов Ba, Sr, Sn, Zr и Ti в газовой среде. Показано, что результаты моделирования достаточно корректно (в пределах 5%) описывают изменение элементного состава в широком диапазоне давлений рабочего газа. Проведенные экспериментальные и теоретические исследования позволили выбрать оптимальные значения технологических параметров для получения сегнетоэлектрических тонких пленок с заданным элементным составом, определяющим их электрофизические свойства. Доп.точки доступа: Тумаркин, А. В.; Вольпяс, В. А.; Злыгостов, М. В.; Одинец, А. А.; Сапего, Е. Н. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |