Феноменологическое описание процесса диспергирования на капли тонких пленок кремния толщиной 8-60 нм на инертной поверхности Al{2}O{3} [Текст] / А. А. Буздуган [и др. ]> // Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 2. - С. 21-28. - Библиогр.: с. 27-28 (19 назв. )
Рубрики: Механика Гидромеханика Кл.слова (ненормированные): диспергирование -- тонкие пленки -- плавление -- кремний -- электронная микроскопия -- инертные поверхности -- оксиды аллюминия -- растровая микроскопия -- феноменологическое описание -- процессы -- оксиды -- алюминий -- нагревы -- вакуумы Аннотация: Исследован процесс диспергирования аморфных тонких пленок кремния толщиной 8-60нм на поверхности оксида алюминия с использованием методов растровой электронной микроскопии и измерения тока через тонкую пленку непосредственно в процессе нагрева в вакууме. Доп.точки доступа: Буздуган, Алексей Анатольевич; Гаврилов, Сергей Александрович; Громов, Дмитрий Геннадьевич; Редичев, Евгений Николаевич; Чулков, Игорь Сергеевич |
Громов, Д. Г. Проявление гетерогенного механизма при плавлении малоразмерных систем [Текст] / Д. Г. Громов, С. А. Гаврилов> // Физика твердого тела. - 2009. - Т. 51, вып. 10. - С. 2012-2021. - Библиогр.: с. 2020-2021 (34 назв. ) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): нанотрубки -- углеродные нанотрубки -- эпитаксия -- рост кристаллов -- послойный рост кристаллов -- кремниевые интегральные схемы -- алюминиевые контакты -- медь -- гетерогенные плавления -- тонкие пленки -- инертные поверхности Аннотация: Анализируется процесс плавления, которое в полубесконечных системах, обладающих поверхностью, всегда является гетерогенным. С позиции классической термодинамики показано, что в реальных однокомпонентных системах слой жидкости на поверхности твердой фазы образуется при температурах, меньших справочной температуры плавления объемного материала, при которой происходит полное расплавление системы. В зависимости от температуры жидкий слой определенной толщины на поверхности находится в равновесии со всей остальной кристаллической фазой. Показано, что гетерогенное плавление влияет на ряд процессов и механизмов, таких как распад тонкой пленки на капли, механизм эпитаксии пар--жидкость--твердое состояние, механизм послойного роста кристаллов, механизм роста углеродных нанотрубок. Доп.точки доступа: Гаврилов, С. А. |