Маляр, Иван Владиславович (аспирант). Модификация поверхности полупроводниковой подложки с помощью органических монослойных покрытий и воздействия излучений [Текст] / И. В. Маляр, С. В. Стецюра // Вестник Саратовского государственного технического университета. - 2010. - N 51. - С. 30-35. : ил. - Библиогр.: с. 35 (5назв. )
Рубрики: Техника Материаловедение Кл.слова (ненормированные): поверхность полупроводниковых подложек -- полупроводниковые подложки -- гетерофазные полупроводники -- монослойные покрытия -- зондовая сканирующая микроскопия -- зарядовые свойства подложки Аннотация: Показаны способы модификации зарядовых свойств подложки и получения микронных и субмикронных электрических неоднородностей на поверхности. Доп.точки доступа: Стецюра, Светлана Викторовна (доцент) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |