Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант). Модификация наноморфологии монокристаллов кремния (100) при СВЧ плазменной обработке различной селективностью [Текст] / В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров // Вестник Саратовского государственного технического университета. - 2012. - № 66. - С. 184-191 : ил. - Библиогр.: с. 191 (7 назв.) . - ISSN 1999-8341
Рубрики: Энергетика Электротехнические материалы и изделия в целом Кл.слова (ненормированные): модификация -- наноморфология -- монокристаллы -- кремний -- СВЧ обработка -- плазменная обработка -- селективность -- высокоионизованная плазма -- циклотронный резонанс -- электронный резонанс -- СВЧ газовые разряды -- кристаллографическая ориентация Аннотация: Исследованы закономерности влияния режимов высокоионизованной плазмы электронного циклотронного резонанса СВЧ газового разряда низкого давления на наноморфологию поверхности монокристаллов кремния кристаллографической ориентации.Regularities of influence of modes of high ionized plasma of an electronic cyclotron resonance of the microwave of the gas discharge of low pressure upon nanomorphology of a surface of single crystals of silicon of crystallographic orientation are investigated. Доп.точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшшафович (доктор технических наук; профессор) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |