Милешко, Леонид Петрович. Слоистое строение анодных пленок SiO[2], легированных фосфором или бором [Текст] / Л. П. Милешко // Известия вузов. Электроника. - 2009. - N 1 (75). - С. . 12-15 : рис. . - ISSN 1561-5405
Рубрики: Химия Химия высокомолекулярных соединений Энергетика Полупроводниковые материалы и изделия Кл.слова (ненормированные): анодные пленки -- оксидные пленки -- легирование -- фосфор -- бор Аннотация: Установлено, что анодные оксидные пленки кремния, полученные методом реанодирования кремния p- и n-типов в фосфатном, боратном и нитратном электролитах на основе тетрагидрофурфурилового спирта, имеют трех- или четырехслойное строение как до, так и после высокотемпературного отжига. Сделано предположение, что этим объясняется неравномерное распределение фосфора и бора по толщине анодного SiO[2]. |