Лозовский, В. Н. (доктор физико-математических наук; профессор). Влияние профиля анодного перехода структур силовых приборов на прямое падение напряжения [Текст] = The influence of anodic transition structures of power devices for forward voltage drop / В. Н. Лозовский, Л. С. Лунин, Б. М. Середин // Известия вузов. Электромеханика. - 2015. - № 5 (541). - С. 54-58 : 4 рис. - Библиогр.: с. 57 (10 назв. ) . - ISSN 0136-3360
Рубрики: Энергетика Полупроводниковые материалы и изделия Кл.слова (ненормированные): p-n-переходы -- анодные переходы -- диффузия -- кремниевые структуры -- падение напряжения -- профили -- силовые полупроводниковые приборы -- термомиграция Аннотация: Увеличение диаметра используемых кремниевых пластин усиливает недостатки диффузионного метода получения силовых приборов. Высокая температура и большая длительность диффузионного процесса; геометрическая и концентрационная неоднородность распределения примеси; дефектность легированных слоев приводят к завышенным значениям падения напряжения при прямом токе. Показано, что кремниевые приборы, имеющие анодный переход, полученный с применением метода термомиграции, обладают меньшими значениями прямых падений напряжения по сравнению с диффузионными аналогами. Выяснено, что этот результат связан с двумя факторами. Во-первых, метод термомиграции позволяет оптимизировать толщину базового слоя прибора, во-вторых, - получать более резкое распределение легирующей примеси в области эмиттера. Доп.точки доступа: Лунин, Л. С. (доктор физико-математических наук; профессор; заведующий кафедрой); Середин, Б. М. (кандидат технических наук; доцент) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |