Влияние режима синтеза в неравновесной плазме СВЧ газового разряда на фундаментальные свойства наноразмерного пленочного кремния и его соединений [Текст] / Д. М. Кульбацкий [и др. ] // Вестник Саратовского государственного технического университета. - 2007. - N 29. - С. 121-128. - Библиогр.: с. 128 (6 назв. )
Рубрики: Химия Физическая химия. Химическая физика Энергетика Электротехника Кл.слова (ненормированные): пленочные структуры (химия) -- кремний -- пленочный кремний -- наноразмерный кремний -- гидрогенезированный кремний -- СВЧ газовые разряды -- СВЧ-плазма -- СВЧ плазмохимические осаждения Аннотация: Исследованы фундаментальные и оптоэлектронные свойства наноразмерных пленочных структур аморфного гидрогенезированного кремния и его твердых растворов различного стехиометрического состава с углеродом и азотом, полученных в неравновесной плазме СВЧ газового разряда. Доп.точки доступа: Кульбацкий, Дмитрий Михайлович (аспирант); Нефедов, Денис Владимирович (аспирант); Семенов, Сергей Иванович (студент); Яфаров, Равиль Кяшшафович (д-р техн. наук) |
Шаныгин, Виталий Яковлевич (магистрант). Механизм и качество травления кремния различных кристаллографических ориентаций в плазме СВЧ газового разряда низкого давления [Текст] / В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров // Вестник Саратовского государственного технического университета. - 2007. - N 29. - С. 129-136. - Библиогр.: с. 136 (4 назв. )
Рубрики: Химия Аналитическая химия Энергетика Электротехника Кл.слова (ненормированные): кремний -- травление кремния -- кристаллографические ориентации (химия) -- СВЧ газовые разряды -- СВЧ-плазма -- СВЧ-установки -- установки вакуумно-плазменного травления Аннотация: Установлено различие в скорости и микроморфологии поверхности плазмохимического травления кремния различных кристаллографических ориентаций в условиях низкого рабочего давления и интенсивной низкоэнергетичной электронно-ионной бомбардировки. Рассмотрен механизм травления кремния во фторсодержащей плазме. Доп.точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшшафович (д-р техн. наук) |
Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант). Модификация наноморфологии монокристаллов кремния (100) при СВЧ плазменной обработке различной селективностью [Текст] / В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров // Вестник Саратовского государственного технического университета. - 2012. - № 66. - С. 184-191 : ил. - Библиогр.: с. 191 (7 назв.) . - ISSN 1999-8341
Рубрики: Энергетика Электротехнические материалы и изделия в целом Кл.слова (ненормированные): модификация -- наноморфология -- монокристаллы -- кремний -- СВЧ обработка -- плазменная обработка -- селективность -- высокоионизованная плазма -- циклотронный резонанс -- электронный резонанс -- СВЧ газовые разряды -- кристаллографическая ориентация Аннотация: Исследованы закономерности влияния режимов высокоионизованной плазмы электронного циклотронного резонанса СВЧ газового разряда низкого давления на наноморфологию поверхности монокристаллов кремния кристаллографической ориентации.Regularities of influence of modes of high ionized plasma of an electronic cyclotron resonance of the microwave of the gas discharge of low pressure upon nanomorphology of a surface of single crystals of silicon of crystallographic orientation are investigated. Доп.точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшшафович (доктор технических наук; профессор) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |