Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>S=Станки и инструменты<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Белов, Алексей Николаевич.
    Локальное травление кремния с использованием твердой маски на основе пористого оксида алюминия [Текст] / А. Н. Белов // Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 1. - С. 11-14 : фото. - Библиогр.: с. 14 (4 назв. )
УДК
^a621.9
ББК 34.63-5
Рубрики: Машиностроение
   Станки и инструменты
Кл.слова (ненормированные):
наноструктуры -- оксиды -- алюминий -- кремний -- твердые маски -- травление
Аннотация: Рассмотрены технологические особенности нанопрофилирования кремния, защищенного твердой маской на основе пористого оксида алюминия.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 21.08.2024
Число запросов 31979
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)