Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=хлорсодержащие газовые смеси<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Технология плазменного наноразмерного травления металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержащих газовых смесях [Текст] / А. М. Ефремов [и др. ] // Нанотехника. - 2010. - N 2 (22). - С. 77-81. : 5 рис. - Библиогр.: c. 81 (3 назв. )
УДК
^a539.2
ББК 22.37
Рубрики: Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
наноразмерное травление металлов -- полупроводники -- бинарные смеси -- хлорсодержащие газовые смеси -- плазма
Аннотация: Исследовано влияние внешних параметров разряда в смесях на электрофизические свойства плазмы.


Доп.точки доступа:
Ефремов, А. М.; Светцов, В. И.; Пивоваренок, С. А.; Дунаев, А. В.
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 08.07.2024
Число запросов 58249
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)