Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=формирование полосок<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Астрова, Е. В.
    Формирование полосок двумерного фотонного кристалла путем одновременного фотоэлектрохимического травления щелей и макропор в кремнии [Текст] / Е. В. Астрова, Г. В. Федулова, Е. В. Гущина // Физика и техника полупроводников. - 2010. - Т. 44, вып. 12. - С. 1666-1672. : ил. - Библиогр.: с. 1672 (18 назв. )
УДК
^a539.2
ББК 22.37
Рубрики: Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
формирование полосок -- двумерные кристаллы -- фотонные кристаллы -- фотоэлектрохимическое травление -- травление щелей -- макропоры в кремнии -- кремний -- глубокие макропоры -- глубокие щели -- n-Si -- сквозные щели -- квадратные решетки -- режимы травления -- шероховатости стенок -- боковые стенки
Аннотация: Исследован процесс совместного электрохимического травления глубоких макропор и щелей в n-Si ориентации (100). После удаления подложки области образца, ограниченные со всех сторон замкнутым контуром сквозных щелей, извлекали из образца, оставляя узкие полоски двумерного фотонного кристалла. На примере фотонного кристалла с квадратной решеткой макропор анализируется влияние расстояния между порами и щелью, режимов травления и последующего окисления на шероховатость боковых стенок таких структур, а также на изменение размера и формы пор вблизи щели. Найдены условия, обеспечивающие наименьшее искажение решетки фотонного кристалла и получение наиболее гладких боковых стенок структуры (среднеквадратичная высота неровности ~60 нм).


Доп.точки доступа:
Федулова, Г. В.; Гущина, Е. В.
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 08.07.2024
Число запросов 58024
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)