Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=твердые маски<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.


    Белов, Алексей Николаевич.
    Локальное травление кремния с использованием твердой маски на основе пористого оксида алюминия [Текст] / А. Н. Белов // Известия вузов. Электроника. - 2007. - N 1. - С. 11-14 : фото. - Библиогр.: с. 14 (4 назв. )
УДК
^a621.9
ББК 34.63-5
Рубрики: Машиностроение
   Станки и инструменты
Кл.слова (ненормированные):
наноструктуры -- оксиды -- алюминий -- кремний -- твердые маски -- травление
Аннотация: Рассмотрены технологические особенности нанопрофилирования кремния, защищенного твердой маской на основе пористого оксида алюминия.


Найти похожие
2.


   
    Нанопрофилирование кремния с использованием твердой маски оксида алюминия и комбинированного "сухого" травления [Текст] / А. Н. Белов [и др. ] // Известия вузов. Электроника. - 2009. - N 2 (76). - С. 39-42 : рис. . - ISSN 1561-5405
УДК
^a621.9
ББК 34.63
Рубрики: Машиностроение
   Обработка металлов резанием
Кл.слова (ненормированные):
сухое травление -- кремний -- оксид алюминия -- нанотехнологии -- нанопрофилирование -- твердые маски
Аннотация: Рассмотрены технологические особенности нанопрофилирования кремния, защищенного твердой маской на основе пористого оксида алюминия.


Доп.точки доступа:
Белов, Алексей Николаевич; Демидов, Юрий Александрович; Путря, Михаил Георгиевич; Голишников, Александр Анатольевич; Васильев, Александр Андреевич

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 20.07.2024
Число запросов 158394
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)