Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=осаждение ионов<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Низкотемпературное получение пленок карбида кремния различных политипов [Текст] / А. В. Семенов [и др. ] // Физика и техника полупроводников. - 2009. - Т. 43, вып. 5. - С. 714-718

УДК

^a539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
пленки -- осаждение ионов -- структуры растущего политипа -- гетероструктуры -- гетероэпитакция
Аннотация: Изучено влияние температуры на структуру пленок SiC, формируемых в условиях осаждения ионов углерода и кремния с энергией 120 эВ. На основе рентгеноструктурных измерений однозначно установлена тонкая зависимость структуры растущего политипа от температуры подложки. В диапазоне температур 1080-1510 градусов C впервые получена последовательность пленок с политипами 21R, 51R, 27R, 6H. Определено влияние температуры на изменение отношения атомных концентраций Si/C в осаждаемой пленке. С оптимизированными параметрами осаждения выращена пленка со структурой ромбоэдрического политипа 51R.

Доп.точки доступа:
Семенов, А. В.; Пузиков, В. М.; Голубова, Е. П.; Баумер, В. Н.; Добротворская, М. В.

Найти похожие

Исследование воздействия лазерного излучения на процессы очистки гальваностоков от никеля [Текст] / О. В. Яковлева [и др. ] // Наукоемкие технологии. - 2007. - Т. 8. N 4. - С. 68-72 : ил. - Библиогр.: с. 72 (5 назв. ) . - ISSN 1999-8465

УДК

^a621.3

ББК 31.2
Рубрики: Энергетика
Электротехника в целом
Кл.слова (ненормированные):
воздействие излучения -- лазерное излучение -- процессы очистки -- гальваностоки -- ионы никеля -- никель -- длина волн -- процессы осаждения -- сточные воды -- гальванические производства -- осаждение ионов
Аннотация: Выполнены исследования по изучению влияния лазерного излучения с различными длинами волн на процесс осаждения ионов никеля из сточных вод гальванических производств.

Доп.точки доступа:
Яковлева, О. В.; Меньшова, О. С.; Новикова, О. А.; Булина, А. Б.
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 01.08.2024
Число запросов	29570
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)