Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=хлорсодержащие газовые смеси<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Ефремов А. М., Светцов В. И., Пивоваренок С. А., Дунаев А. В.
Заглавие : Технология плазменного наноразмерного травления металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержащих газовых смесях
Место публикации : Нанотехника. - 2010. - N 2 (22). - С. 77-81: 5 рис. (Шифр nant/2010/2)
Примечания : Библиогр.: c. 81 (3 назв. )
УДК : 539.2
ББК : 22.37
Предметные рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наноразмерное травление металлов--полупроводники--бинарные смеси--хлорсодержащие газовые смеси--плазма
Аннотация: Исследовано влияние внешних параметров разряда в смесях на электрофизические свойства плазмы.
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 07.09.2024
Число запросов 1245
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)