32.84 М25 Марголин, Владимир Игоревич. Физические основы микроэлектроники [Текст] : учеб. : рек. УМО / В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик. - М. : Академия, 2008. - 400 с. : ил. - (Высшее проф. образование. Радиоэлектроника). - Библиогр. : с. 395. - ISBN 978-5-7695-4227-5 (в пер.) : 512.60 р. Рубрики: Радиоэлектроника Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): квантовая механика, понятия -- квантование энергии -- энергия Ферми -- кристаллическое состояние вещества -- индексы Миллера -- молекулярные связи -- ковалентная связь -- квазичастицы -- фуллериты -- фуллериды -- перколяция -- реальные фракталы -- технология получения тонких пленок -- ионное распыление -- фотолитография -- электронная литография -- низковольтная электронная литография -- лазерное легирование -- ионное легирование -- лазерный отжиг -- термический отжиг -- электронная микроскопия -- сканирующий микроскоп -- эллипсометрия, основы Держатели документа: БД Книги КО Доп.точки доступа: Жабрев, Валентин Александрович; Тупик, Виктор Анатольевич Экземпляры всего: 5 ч.з. (2), аб. (3) Свободны: ч.з. (2), аб. (3) |