22.37 С24 Светухин, В. В. Моделирование современных перспективных кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии [Текст] : учеб.-метод. комплекс / В. В. Светухин, Д. Я. Вострецов. - Ульяновск : Изд-во Ульянов. гос. ун.-та, 2006. - 108 с. : рис., табл. - Библиогр. : с. 85 . - 70.00 р. Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): твердые тела -- кластеризация точечных дефектов -- кинетика фазовых переходов -- дефекты в твердых телах -- преципитация -- преципитация кислорода в кремнии Доп.точки доступа: Вострецов, Д.Я. Экземпляры всего: 1 ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |