Файнер, Н. И. Фазовый состав тонких пленок карбонитрида кремния, полученных плазмохимическим разложением кремнийорганических соединений [Текст] / Н. И. Файнер, В. И. Косяков // Журнал структурной химии. - 2015. - Т. 56, № 1. - С. 171-182 : 9 рис., 3 табл. - Библиогр.: с. 181-182 (57 назв. ) . - ISSN 0136-7463
Рубрики: Химия Химия высокомолекулярных соединений Органические соединения Кл.слова (ненормированные): гексаметилдисилазан -- карбонитрид кремния -- кристаллические фазы -- плазмохимическое осаждение -- тонкие пленки Аннотация: Высокотемпературные пленки карбонитрида кремния синтезированы плазмохимическим разложением газовых смесей 1, 1, 1, 3, 3, 3-гексаметилдисилазана (ГМДС) (синоним по ИЮПАК бис (триметилсилил) амин) с гелием или аммиаком в области температур 673-1273 K. показано, что пленки карбонитрида кремния, полученные в высокотемпературных процессах плазмохимического разложения кремнийорганических соединений, являются нанокомпозитными, в аморфную матрицу которых внедрены кристаллы, принадлежащие к фазам семейства альфа-Si[3-n]C[n]N[4] и примесного графита. Доп.точки доступа: Косяков, В. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |