Кошелев, К. Н. Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии [Текст] / К. Н. Кошелев, В. Е. Банин, Н. Н. Салащенко // Успехи физических наук. - 2007. - Т. 177, N 7. - С. 777-780. - Библиогр.: с. 780 (6 назв. ). - ил.: 6 рис.
Рубрики: Физика Кл.слова (ненормированные): сессии -- литография -- излучения -- коротковолновые излучения -- источники излучения -- плазма -- литографические аппараты Аннотация: Описаны подходы к решению двух проблем - увеличения мощности излучения (тепловой нагрузки) и повышения стабильности дозы излучения. Последняя проблема связана с физикой источника излучения, так как возникает в результате корпускулярных потоков (атомы, ионы, капли материала электродов) из области разряда. Доп.точки доступа: Банин, В. Е.; Салащенко, Н. Н. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Коррекция формы оптических поверхностей с субнанометровой точностью. Проблемы, статус, перспективы [Текст] / Е. Б. Клюенков [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 2. - С. 205-208. - Библиогр.: c. 208 (13 назв. )
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура оптики Техника Общие вопросы техники Кл.слова (ненормированные): оптические поверхности -- проекционные литографические установки -- прецизионный интерферометр -- сферические волны -- исследовательские работы -- прецизионная коррекция -- зеркала Аннотация: Сообщается о статусе работ в ИФМ РАН в области прецизионной коррекции формы зеркал для объективов проекционных литографических установок с рабочей дляной волны 13. 5 нм. Доп.точки доступа: Клюенков, Е. Б.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Пестов, А. Е. Моделирование интенсивности излучения рентгеновских трубок в мягком рентгеновском и экстремальном ультрафиолетовом диапазоне [Текст] / А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 2. - С. 218-220. - Библиогр.: c. 220 (15 назв. )
Рубрики: Физика Электричество и магнетизм в целом Астрономия Астрономия в целом Кл.слова (ненормированные): рентгеновские трубки -- мягкий рентгеновский диапазон -- экстремальный ультрафиолетовый диапазон -- интенсивность излучения -- моделирование -- метод Монте-Карло -- Монте-Карло метод -- расчетные данные -- экспериментальные данные Аннотация: Описана программа расчета интенсивности флуоресценции материала мишени рентгеновских трубок (РТ) при облучении электронами с энергией до 15 кэВ. Доп.точки доступа: Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Источник сферической волны на основе зонда ближнепольного микроскопа [Текст] / А. Ю. Климов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 2. - С. 221-223 : Рис. - Библиогр.: c. 223 (6 назв. )
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура оптики Техника Общие вопросы техники Кл.слова (ненормированные): источник сферической волны -- оптоволоконные зонды -- прецизионные интерферометры -- числовая апертура -- деформации волновых фронтов -- эксперименты -- интерферометры -- ближнепольные микроскопы Аннотация: Сообщается о новом типе источника сферической волны для прецизионной интерфеометрии на основе оптоволоконного зонда для ближнепольного микроскопа. Доп.точки доступа: Климов, А. Ю.; Рогов, В. В.; Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Ахсахалян, А. А. Многослойное рентгеновское зеркало в форме эллипсоида вращения [Текст] / А. А. Ахсахалян [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2007. - Т. 71, N 1. - С. 69-72. - Библиогр.: с. 72 (8 назв. ). - d, 2007, , 0
Рубрики: Техника Кл.слова (ненормированные): многослойные рентгеновские зеркала Аннотация: На основе метода реплик разработана лабораторная технология изготовления многослойных зеркал в форме эллипсоида вращения для жесткого рентгеновского диапазона длин волн лямбда приблизительно равна 0. 1 нм. Доп.точки доступа: Ахсахалян, А. Д.; Клюенко, Е. Б.; Муравьев, В. А.; Салащенко, Н. Н.; Харитонов, А. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Салащенко, Н. Н. (чл.-кор. РАН). Коротковолновая проекционная нанолитография [Текст] / Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало // Вестник Российской академии наук. - 2008. - Т. 78, N 5. - С. 450-457 : 6 рис. - Библиогр.: с. 456-457 (31 назв. )
Рубрики: Полиграфическая промышленность Плоская печать Кл.слова (ненормированные): диапазоны коротковолновые -- диапазоны ультрафиолетовые -- коротковолновые диапазоны -- микроэлектронная промышленность -- нанолитография -- нанолитография проекционная -- области спектра -- проекционная нанолитография -- промышленность микроэлектронная -- спектры -- ультрафиолетовые диапазоны Аннотация: На одном из заседаний Президиума РАН рассматривались проводимые в Институте физики микроструктур РАН работы по нанолитографии в ультракороткой области спектра, которым и посвящена публикуемая ниже статья. Результаты этих работ, по мнению участников заседания, можно реально использовать для возрождения отечественной микроэлектронной промышленности. Доп.точки доступа: Чхало, Н. И. (канд. физ.-матем. наук) Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Награды и премии [Текст] : [премии вручены: им. П. А. Черенкова 2008 г. - А. П. Онучину; им. А. Г. Столетова 2008 г. - Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало] // Вестник Российской академии наук. - 2009. - Т. 79, N 1. - С. 94.
Рубрики: Наука. Науковедение Общие вопросы науки--Россия, 2008 г. Кл.слова (ненормированные): академики -- доктора наук -- награды -- награждения -- премии -- ученые Аннотация: Официальный отдел дает информацию о присуждении наград и премий академикам, докторам наук. Доп.точки доступа: Онучин, А. П.; Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И.; Российская академия наук; РАН Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Клюенков, Е. Б. Работы по созданию и аттестации рентгенооптических элементов и систем сверхвысокого разрешения в ИФМ РАН [Текст] / Е. Б. Клюенков, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. - 2009. - Т. 73, N 1. - С. 66-70. : Рис. - Библиогр.: c. 70 (15 назв. )
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура оптики Транспорт Транспортные сооружения Кл.слова (ненормированные): интерферометрия -- светосильные оптические поверхности -- рентгенооптические элементы -- прецизионная метрология -- интерферометр с дифракционной волной сравнения -- интерферометры -- зеркальные объективы -- рентгенооптика Аннотация: Сообщается о последних разработках, проводимых в ИФМ РАН в области метрологии и коррекции формы светосильных подложек для рентгенооптики формы поверхностей с субнаномерной точностью. Доп.точки доступа: Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И.; ИФМ РАН; Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Исследования в области создания фокусирующих многослойных рентгеновских зеркал [Текст] / А. А. Ахсахалян [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 1. - С. 44-46. - Библиогр.: c. 46 (20 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Машиностроение Соединения деталей машин Кл.слова (ненормированные): зеркала -- зеркала в форме эллипсоида вращения -- зеркала цилиндрической формы -- Киркпатрика-Байеза скрещенные системы -- метод реплик -- многослойные фокусирующие зеркала -- плоскости изображения -- рентгеновские зеркала -- скрещенные системы Киркпатрика-Байеза -- уголковые отражатели -- фокусирующие свойства Аннотация: В работе приводится обзор исследований и важнейших полученных результатов за последние пять лет в Институте физики микроструктур РАН в области создания фокусирующих многослойных зеркал для жесткого рентгеновского диапазона длин волн (лямбда=0. 05-0. 25 нм, Е=25-5 кэВ). Доп.точки доступа: Ахсахалян, А. А.; Ахсахалян, А. Д.; Вайнер, Ю. А.; Зорина, М. В.; Клюенков, Е. Б.; Муравьев, В. А.; Салащенко, Н. Н.; Харитонов, А. И.; Институт физики микроструктур РАН Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Многослойные тонкопленочные фильтры экстремального ультрафиолетового и мягкого рентгеновского диапазонов [Текст] / Б. А. Володин [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 1. - С. 53-57 : Рис. - Библиогр.: c. 56-57 (11 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Машиностроение Соединения деталей машин Кл.слова (ненормированные): металлические пленки -- многослойные тонкопленочные фильтры -- мягкий рентгеновский диапазон -- оптические свойства -- проекционная ЭУФ-литография -- прозрачность -- тонкопленочные фильтры -- ультратонкие фильтры -- фильтры -- экстремальный ультрафиолетовый диапазон Аннотация: Разработаны многослойные тонкопленочные фильтры из различных пар материалов, имеющие окна прозрачности в диапазоне длин волн лямбда < 60 нм. Доп.точки доступа: Володин, Б. А.; Гусев, С. А.; Дроздов, М. Н.; Зуев, С. Ю.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Элементы отражающей оптики для решения задач рентгеновской астрофизики в рамках эксперимента ТЕСИС [Текст] / С. Ю. Зуев [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 1. - С. 58-61 : Рис. - Библиогр.: c. 61 (5 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Машиностроение Соединения деталей машин Кл.слова (ненормированные): космические эксперименты -- многослойные рентгеновские зеркала -- многослойные структуры -- отражательная оптика -- рентгеновская астрофизика -- солнечная корона -- спутник КОРОНАС-Фотон -- спутники -- эксперимент ТЕСИС -- экспериментальная аппаратура Аннотация: Описаны отражательные характеристики многослойных структур, включенных в оптические схемы аппаратуры спутника КОРОНАС-Фотон. Доп.точки доступа: Зуев, С. Ю.; Кузин, С. В.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Салащенко, Н. Н. Физические ограничения точности измерений интерферометров с дифракционной волной сравнения [Текст] / Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 1. - С. 62-65 : Рис. - Библиогр.: c. 65 (13 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура оптики Машиностроение Соединения деталей машин Кл.слова (ненормированные): волновые деформации -- волоконные источники сферической волны -- дифракционные интерферометры -- интерферометры -- интерферометры с дифракционной волной сравнения -- опыт Юнга -- точность измерений -- экспериментальные исследования -- Юнга опыт Аннотация: Проводится анализ основных факторов, ограничивающих точность измерений дифракционных интерферометров. Доп.точки доступа: Торопов, М. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Салащенко, Н. Н. Проект изготовления российского ЭУФ-нанолитографа для производства СБИС по технологическим нормам 22 нм [Текст] / Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 49-53. : рис. - Библиогр.: с. 53 (12 назв. )
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура оптики Транспорт Транспортные сооружения Кл.слова (ненормированные): массовое производство -- нанолитографы -- наноэлектроника -- оптические элементы -- опытное производство -- отражательные маски -- проекты -- проекционная ЭУФ-литография -- промышленные сканеры -- фоторезисторы -- экстремальное ультрафиолетовое излучение Аннотация: Сообщается о разрабатываемом проекте создания отечественного нанолитографа с рабочей длиной волны лямбда=13. 5 нм для производства элементной базы наноэлектроники (чипов) по технологическим нормам 32-22 нм на первом этапе и 22-16 нм - на втором. Доп.точки доступа: Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Стенд проекционного ЭУФ-нанолитографа-мультипликатора с расчетным разрешением 30 нм [Текст] / Д. Г. Волгунов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 54-56. : рис. - Библиогр.: с. 56 (10 назв. )
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура оптики Транспорт Транспортные сооружения Кл.слова (ненормированные): высокие технологии -- нанолитограф-мультипликатор -- наноэлектроника -- оптические элементы -- проекционная ЭУФ-литография -- разрешающая способность -- экстремальное ультрафиолетовое излучение Аннотация: Сообщается о созданном в ИФМ РАН стенде нанолитографа-мультипликатора с рабочей длиной волны 13, 5 нм и расчетным пространственным разрешением 30 нм. Доп.точки доступа: Волгунов, Д. Г.; Забродин, И. Г.; Закалов, Б. А.; Зуев, С. Ю.; Каськов, И. А.; Клюенков, Е. Б.; Пестов, А. Е.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Суслов, Л. А.; Торопов, М. Н.; Чхало, Н. И.; Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН; ИФМ РАН Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Технологический комплекс для изготовления прецизионной изображающей оптики [Текст] / С. Ю. Зуев [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 57-60. : рис. - Библиогр.: с. 60 (7 назв. )
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура оптики Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): интерферометры -- ионное травление -- магнетронное напыление -- методы коррекции формы -- многослойные структуры -- оптические элементы -- перецизионная изображающая техника -- технологические линии Аннотация: Описан комплексный подход к решению проблемы создания сверхгладких оптических поверхностей с субнанометровой точностью формы. Доп.точки доступа: Зуев, С. Ю.; Клюенков, Е. Б.; Пестов, А. Е.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Суслов, Л. А.; Торопов, М. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Двухзеркальный проекционный объектив нанолитографа на лямбда=13. 5 нм [Текст] / С. Ю. Зуев [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 61-64. : рис. - Библиогр.: с. 64 (7 назв. )
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура оптики Транспорт Транспортные сооружения Кл.слова (ненормированные): асферические зеркала -- двухзеркальные объективы -- критерий Марешаля -- Марешаля критерий -- нанолитографы -- оптические элементы -- проекционная ЭУФ-литография -- проекционные объективы -- экстремальное ультрафиолетовое излучение Аннотация: Описывается проекционный объектив, состоящий из двух асферических зеркал, для стенда нанолитографа с рабочей длиной волны лямбда=13. 5 нм. Значительное внимание уделяется методам аттестации формы поверхности зеркал и аберраций объектива с субнанометровой точностью. Доп.точки доступа: Зуев, С. Ю.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Скрыль, А. С.; Струля, И. Л.; Суслов, Л. А.; Торопов, М. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Развитие микрошероховатости поверхности плавленого кварца и покрытий Cr/Sc при травлении ионными пучками [Текст] / Ю. А. Вайнер [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 65-67. . - Библиогр.: с. 67 (5 назв. )
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): критерий Марешаля -- малоугловая рентгеновская дифракция -- Марешаля критерий -- многослойные структуры -- оптические элементы -- плавленый кварц -- проекционная ЭУФ-литография -- травление ионными пучками -- шероховатость поверхности -- экстремальное ультрафиолетовое излучение Аннотация: Изучается поведение шероховатости поверхностей многослойной структуры Cr/Sc и плавленого кварца при ионно-пучковом травлении. Доп.точки доступа: Вайнер, Ю. А.; Зорина, М. В.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И.; Храмков, Р. А. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Источник экстремального ультрафиолетового излучения на основе плазмы, нагреваемой излучением миллиметрового диапазона [Текст] / А. В. Водопьянов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 68-70. . - Библиогр.: с. 70 (18 назв. )
Рубрики: Физика Оптика в целом Кл.слова (ненормированные): магнитные ловушки -- плазмогенераторы -- проекционная ЭУФ-литография -- экстремальное ультрафиолетовое излучение -- электромагнитное излучение -- электронно-циклотронный резонанс Аннотация: Обсуждается источник экстремального ультрафиолетового излучения на основе разряда низкого давления, поддерживаемого в магнитной ловушке мощным электромагнитным излучением на частоте 75 ГГц. Доп.точки доступа: Водопьянов, А. В.; Голубев, С. В.; Мансфельд, Д. А.; Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Особенности изучения шероховатости подложек для многослойной рентгеновской оптики методами малоугловой рентгеновской рефлексометрии, атомно-силовой и интерференционной микроскопии [Текст] / М. М. Барышева [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 71-76. . - Библиогр.: с. 76 (13 назв. )
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): атомно-силовая микроскопия -- многослойная рентгеновская оптика -- оптические интерференционные микроскопы -- рассеяние излучения -- рентгеновская рефлексометрия -- сверхгладкие подложки -- шероховатость поверхности Аннотация: Применительно к изучению супергладких подложек для многослойной рентгеновской оптики анализируются возможности стандартных методов исследования шероховатых поверхностей. Доп.точки доступа: Барышева, М. М.; Вайнер, Ю. А.; Грибков, Б. А.; Зорина, М. В.; Пестов, А. Е.; Рогачев, Д. Н.; Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Термически стойкие многослойные фильтры на основе молибдена для экстремального УФ-диапазона [Текст] / М. Н. Дроздов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 77-79. . - Библиогр.: с. 79 (3 назв. )
Рубрики: Машиностроение Соединения деталей машин Кл.слова (ненормированные): вторично-ионная масс-спектрометрия -- многослойные структуры -- молибден -- оптические системы -- свободно висящие фильтры -- термически стойкие фильтры -- фильтры Аннотация: Предложены новые многослойные структуры на основе молибдена и изготовлены образцы свободновисящих фильтров диаметром 160 мм с прозрачностью 71% на длине волны лямбда=13. 5 нм. Доп.точки доступа: Дроздов, М. Н.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Чхало, Н. И.; Шмаенок, Л. А. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |