Подгорный, Д. А. Определение толщин сверхтонких пленок методом электронной оже-спектроскопии [Текст] / Д. А. Подгорный, Т. Н. Сметюхова, А. В. Иржак // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2012. - Т. 78, № 8. - С. 33-36. - Библиогр.: с. 36 (9 назв. ) . - ISSN 1028-6861
Рубрики: Физика Спектроскопия Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): сверхтонкие пленки -- определение толщин пленок -- метод электронной оже-спектроскопии -- электронная оже-спектроскопия -- ионное травление Аннотация: Описана методика определения толщин сверхтонких пленок методом электронной оже-спектроскопии без разрушения материала. Доп.точки доступа: Сметюхова, Т. Н.; Иржак, А. В. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |