Мутилин, С. В. Показатель преломления тонкой однородной пленки SiO[2] [Текст] / С. В. Мутилин, Т. Хасанов // Оптика и спектроскопия. - 2008. - Т. 105, N 3. - С. 505-510.
Рубрики: Физика Оптика в целом Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- SiO[2] -- показатель преломления Аннотация: Представлены результаты исследования влияния неоднородности по толщине на показатель преломления пленок SiO[2]. Пленки SiO[2], нанесенные методом пиролиза тетраэтоксисилана на плоскопараллельных подложках ориентированного кристаллического кварца и на пластине кремния, подвергались послойному травлению в растворе Плискина. Рассчитывались показатель преломления и геометрическая толщина пленок из измеренных эллипсометрических углов после каждого травления. Представлен численный анализ точности определения показателя преломления в зависимости от толщины пленки за счет экспериментальных ошибок измерений поляризационных углов и параметров подложки. Для пленок SiO[2] толще 20 нм влияние неоднородности не обнаружено. При меньших толщинах наблюдалась зависимость показателей преломления от толщины. Обсуждены причины таких зависимостей. Доп.точки доступа: Хасанов, Т. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |