Дохтуров, В. В. Контроль параметров омических контактов в процессе их термообработки [Текст] / В. В. Дохтуров, В. И. Юрченко, А. В. Юрченко // Контроль. Диагностика. - 2012. - № 11. - С. 27-29. - Библиогр.: с. 29 (5 назв. ) . - ISSN 0201-7032
Рубрики: Техника Материаловедение Энергетика Электроизолирующие материалы и изделия Кл.слова (ненормированные): контроль поверхности контактов -- омические контакты -- импульсная термообработка -- полупроводниковые структуры -- контроль сопротивления -- оптический метод контроля -- поверхностное сопротивление -- термическая обработка -- электрическое сопротивление -- оптический мониторинг Аннотация: Описан процесс импульсной термообработки омических контактов к полупроводниковым структурам с контролем сопротивления непосредственно в процессе термообработки. Доп.точки доступа: Юрченко, В. И.; Юрченко, А. В. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |