Галкин, Николай Геннадьевич (доктор физико-математических наук; заместитель директора). Перспективы создания и развития кремниевой интегральной фотоники с оптической связью на 1.5 мкм [Текст] / Н. Г. Галкин // Вестник Амурского государственного университета. - 2017. - Вып. 79 : Сер. Естеств. и экон. науки. - С. 145-149. - Библиогр.: с. 149 (13 назв.) . - ISSN 2073-0268
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура оптики Кл.слова (ненормированные): гетероэпитаксия -- дисилицид железа -- кремний -- микросхемы -- нанокристаллы -- оптическая связь -- светодиоды -- фотодиоды Аннотация: Рассмотрены основные подходы к реализации гибридных (ГЭФ ИС) и монолитных (МЭФ ИС) электрон-фотонных интегральных микросхем с оптической связью на основе кремниевых подложек и показаны основные достижения в этих направлениях. Развиты основы кремний-силицидного подхода для создания кремневых МЭФ ИС с оптической связью на длине волны 1.5. мкм. Имеются экземпляры в отделах: всего 5 : н.з. (1), ч.з. (1), эн.ф. (1), аб. (2) Свободны: н.з. (1), ч.з. (1), эн.ф. (1), аб. (2) |