Фатьянова, Г. И. Перспективы формирования многопучковых систем для низковольтной электронной литографии [Текст] / Г. И. Фатьянова, Б. Н. Васичев // Известия РАН. Серия физическая. - 2007. - Т. 71, N 10. - С. 1502-1506. - Библиогр.: c. 1506 (6 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника Кл.слова (ненормированные): вакуумная микросистемная техника -- линзы -- литография -- миниатюрные электронные пушки -- многопучковые системы -- электронная литография -- электронно-оптическая система -- электронные пушки Аннотация: Рассмотрены перспективы создания миниатюрных многолучевых систем для электронной литографии. Представлены конструкции миниатюрных базовых элементов электронно-оптических систем, в том числе магнитной линзы с незамкнутым магнитопроводом и линзы с совмещенными аксиально-симметричными полями, у которой магнитопровод одновременно выполняет функции электродов электростатической линзы. Доп.точки доступа: Васичев, Б. Н. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Васичев, Б. Н. Моделирование влияния спин-поляризации магнитных моментов электронов на формирование кроссовера [Текст] / Б. Н. Васичев, Н. Г. Фатьянова // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 9. - С. 1252-1255. . - Библиогр.: c. 1155 (2 назв. )
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): кроссовер -- магнитные моменты -- миниатюрные электронные пушки -- сканирующая микроскопия -- спин-поляризация -- электронно-оптические системы -- электронные микроскопы -- электронные пушки Аннотация: Приведены экспериментальные результаты работы по исследованию влияния спин-поляризации на формирование кроссовера в электронных микроскопах. Анализируются пространственные распределения магнитных состояний электронов для пучков электронов в кроссовере электронной пушки на примере самосогласованного поля спин-поляризации. Приведена оценка факторов, способных повлиять на пространственную разрешающую способность и чувствительность сканирующей микроскопии, зависящие от диаметра кроссовера и рассеяния электронов в нем. Обсуждаются условия практической нейтрализации спин-поляризации при проектировании электронно-оптических систем высокого разрешения. Доп.точки доступа: Фатьянова, Н. Г. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Васичев, Б. Н. Моделирование нелинейных процессов в электронно-оптических системах [Текст] / Б. Н. Васичев, Н. Г. Фатьянова // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 9. - С. 1256-1258. . - Библиогр.: c. 1258 (2 назв. )
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): возбужденные среды -- локальные физические поля -- моделирование -- нелинейные процессы -- нелинейные эффекты -- энергия поля Аннотация: При достаточно больших плотностях энергии в локализованных областях в той или иной степени проявляются нелинейные эффекты. Энергия поля и коэффициент нелинейности возбужденной среды определяют порог геометрических размеров локализованного участка вакуумного пространства. В настоящей работе представлена методика моделирования электронно-оптических систем с нелинейными элементами в виде нелинейных локальных физических полей. Доп.точки доступа: Фатьянова, Н. Г. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Отечественное оборудование для микро- и нанотехнологий и перспективы его развития [Текст] / В. А. Васин [и др.] // Справочник. Инженерный журнал. - 2013. - № 1. - С. 37-43. - Библиогр.: с. 43 (5 назв. ) . - ISSN 0203-347X
Рубрики: Машиностроение Общая технология машиностроения Кл.слова (ненормированные): микросистемная техника -- надежность -- нанообъекты -- нанотехнологии -- электронно-лучевые системы Аннотация: В статье рассмотрены вопросы создания и эксплуатации оборудования для производства и исследования объектов нанотехнологий. Доп.точки доступа: Васин, В. А.; Фатьянова, Н. Г.; Васичев, Б. Н.; Степанчиков, С. В. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |