Барышева, М. М. Амплитудные и фазовые характеристики рентгеновских зеркал [Текст] / М. М. Барышева, А. М. Сатанин> // Известия РАН. Серия физическая. - 2007. - Т. 71, N 1. - С. 73-76. - Библиогр.: с. 76 (7 назв. ). - d, 2007, , 0
Рубрики: Физика Кл.слова (ненормированные): рентгеновские зеркала Аннотация: На основе укороченных уравнений исследовано влияние поглощения, межслойных шероховатостей, функций толщин слоев на фазовращательные и поляризационные свойства многослойных структур. Доп.точки доступа: Сатанин, А. М. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Барышева, М. М. Интерференционный эффект увеличения коэффициента отражения многослойных зеркал на основе тринарных периодических структур [Текст] / М. М. Барышева, А. М. Сатанин> // Известия РАН. Серия физическая. - 2009. - Т. 73, N 7. - С. 964-966. . - Библиогр.: c. 966 (5 назв. )
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): диэлектрическая проницаемость -- интерференционные эффекты -- коэффициент отражения МПС -- многослойные периодические структуры -- мягкий рентгеновский диапазон -- сильнопоглощающие прослойки -- тринарные зеркала Аннотация: Обсуждена возможность увеличения пикового коэффициента отражения бинарных многослойных периодических структур в области мягкого рентгеновского диапазона путем введения дополнительных слоев (создание тринарных зеркал). Доп.точки доступа: Сатанин, А. М. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Особенности изучения шероховатости подложек для многослойной рентгеновской оптики методами малоугловой рентгеновской рефлексометрии, атомно-силовой и интерференционной микроскопии [Текст] / М. М. Барышева [и др. ]> // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 71-76. . - Библиогр.: с. 76 (13 назв. )
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): атомно-силовая микроскопия -- многослойная рентгеновская оптика -- оптические интерференционные микроскопы -- рассеяние излучения -- рентгеновская рефлексометрия -- сверхгладкие подложки -- шероховатость поверхности Аннотация: Применительно к изучению супергладких подложек для многослойной рентгеновской оптики анализируются возможности стандартных методов исследования шероховатых поверхностей. Доп.точки доступа: Барышева, М. М.; Вайнер, Ю. А.; Грибков, Б. А.; Зорина, М. В.; Пестов, А. Е.; Рогачев, Д. Н.; Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Послойный анализ многослойных металлических структур Pd/B[4]C, Ni/C, Cr/Sc методом ВИМС с использованием кластерных вторичных ионов: проблема повышения разрешения по глубине [Текст] / М. Н. Дроздов [и др. ]> // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 106-110. . - Библиогр.: с. 110 (8 назв. )
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): вторично-ионная масс-спектрометрия -- интерференционные микроскопы -- матричные эффекты -- металлические пленки -- многослойные структуры -- электронная оже-спектроскопия -- элементный состав Аннотация: Исследуется возможность минимизации матричных эффектов при послойном анализе многослойных металлических структур методом ВИМС, основанная на использовании кластерных вторичных ионов, включающих комбинацию анализируемого элемента и распыляющих ионов цезия либо кислорода. Доп.точки доступа: Дроздов, М. Н.; Дроздов, Ю. Н.; Барышева, М. М.; Полковников, В. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Развитие шероховатости сверхгладких поверхностей при ионно-пучковом травлении [Текст] / М. М. Барышева [и др. ]> // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 2. - С. 190-195. - Библиогр.: с. 195 (9 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): ионно-пучковое травление -- кристаллический кремний -- многослойная структура Cr/Sc -- многослойные структуры -- плавленый кварц -- сверхгладкие поверхности -- шероховатость поверхности Аннотация: Изучается поведение шероховатости поверхностей многослойной структуры Cr/Sc, кристаллического кремния [100] и плавленого кварца при ионно-пучковом травлении в области средних и высоких частот пространственного спектра (10{-2} - 10{2} мкм{-1}). Показана возможность сохранения шероховатости поверхности на уровне сигма ~ 0. 3 нм при травлении атомами/ионами Ar на глубину до 10 мкм. Доп.точки доступа: Барышева, М. М.; Вайнер, Ю. А.; Грибков, Б. А.; Зорина, М. В.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Храмков, Р. А.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Прецизионная изображающая многослойная оптика [Текст] / М. М. Барышева [и др.]> // Успехи физических наук. - 2012. - Т. 182, № 7. - С. 727-747 : 16 рис., 6 табл. - Библиогр.: с. 745-747 (126 назв.) . - ISSN 0042-1294
Рубрики: Физика Рентгеновские лучи. Гамма-лучи Физическая оптика Кл.слова (ненормированные): многослойная оптика -- электромагнитные поля -- рентгеновская микроскопия -- ультрафиолетовое излучение -- рентгеновская оптика -- фотолитография -- оптические системы Аннотация: Работа посвящена фундаментальным проблемам изготовления и тестирования, а также применениям в диапазоне длин волн 2-60 нм оптики, обеспечивающей дифракционное качество изображений и востребованной для проекционной литографии, рентгеновской микроскопии, астрофизики и для фундаментальных исследований в области взаимодействия вещества (вакуума) со сверхсильными электромагнитными полями. Доп.точки доступа: Барышева, М. М.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Торопов, М. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Многослойные зеркала La/B[4]C для спектральной области вблизи 6.7 нм [Текст] / М. М. Барышева [и др.]> // Известия РАН. Серия физическая. - 2013. - Т. 77, № 1. - С. 29-32. - Библиогр.: с. 32 (5 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Машиностроение Соединения деталей машин Кл.слова (ненормированные): барьерные слои -- коэффициенты отражения -- магнетронное распыление -- многослойные зеркала -- проекционная экстремально ультрафиолетовая литография -- спектральная селективность -- шероховатость поверхности Аннотация: Представлены результаты измерений коэффициентов отражения многослойных зеркал La/B[4]C с барьерными слоями углерода и скандия. Показано, что большее отражение достигается при осаждении слоя углерода на карбид бора. Эффект достигается вследствие уменьшения поглощения в структуре и сокращения ширины переходных областей. Доп.точки доступа: Барышева, М. М.; Вайнер, Ю. А.; Зуев, С. Ю.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Стариков, С. Д. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |