Барабаненков, М. Ю. Разработка методов детектирования сигналов для электронно-оптического in situ-мониторинга периодических структур [Текст] / М. Ю. Барабаненков, В. В. Казьмирук, Т. Н. Савицкая // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 9. - С. 1259-1262. . - Библиогр.: c. 1262 (5 назв. )
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): детектирование сигналов -- магнитно-электростатические линзы -- периодические структуры -- системы высокого разрешения -- формирующие линзы -- электронно-зондовые системы -- электронно-оптический мониторинг Аннотация: Для низковольтных электронно-зондовых систем высокого разрешения с комбинированной магнитно-электростатической формирующей линзой предложена система детектирования, позволяющая добиться практически стопроцентной эффективности сбора информативного сигнала. Доп.точки доступа: Казьмирук, В. В.; Савицкая, Т. Н. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |