Барабаненков, М. Ю. Разработка методов детектирования сигналов для электронно-оптического in situ-мониторинга периодических структур [Текст] / М. Ю. Барабаненков, В. В. Казьмирук, Т. Н. Савицкая // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 9. - С. 1259-1262. . - Библиогр.: c. 1262 (5 назв. )
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): детектирование сигналов -- магнитно-электростатические линзы -- периодические структуры -- системы высокого разрешения -- формирующие линзы -- электронно-зондовые системы -- электронно-оптический мониторинг Аннотация: Для низковольтных электронно-зондовых систем высокого разрешения с комбинированной магнитно-электростатической формирующей линзой предложена система детектирования, позволяющая добиться практически стопроцентной эффективности сбора информативного сигнала. Доп.точки доступа: Казьмирук, В. В.; Савицкая, Т. Н. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Казьмирук, В. В. Разработка формирующей линзы для низковольтных электронно-зондовых систем высокого разрешения [Текст] / В. В. Казьмирук, Т. Н. Савицкая // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 9. - С. 1263-1265. . - Библиогр.: c. 1265 (6 назв. )
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): детектирование сигналов -- магнитно-электростатические линзы -- низковольтные системы -- системы высокого разрешения -- формирующие линзы -- электронно-зондовые системы Аннотация: Разработана оригинальная конструкция комбинированной магнитно-электростатической формирующей линзы для низковольтных электронно-зондовых систем высокого разрешения, позволяющая добиться стопроцентной эффективности детектирования сигнала и обеспечивающая в диапазоне энергий до 0. 04 кэВ разрешение менее 1 нм. Доп.точки доступа: Савицкая, Т. Н. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Казьмирук, В. В. Автоматизация режима электронно-зондового мониторинга дефектов шаблонов для импринт-литографии [Текст] / В. В. Казьмирук, Т. Н. Савицкая // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 9. - С. 1077-1081. - Библиогр.: c. 1081 (3 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): вторично-эмиссионные сигналы -- импринт-литография -- мониторинг дефектов -- получение информации -- растровая электронная микроскопия -- сканирование -- электронно-зондовые системы Аннотация: В работе рассматриваются вопросы выбора оптимальных параметров электронно-зондовых систем при сканировании площадей порядка 1 см[2] с разрешением 3-20 нм и динамической регулировки этих параметров во время сканирования. Полученные зависимости открывают перспективу решения ряда проблем полной автоматизации процесса получения информации. Доп.точки доступа: Савицкая, Т. Н. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |