Растворимые циклополимеры на основе 1, 1, 2, 3, 3-пентафтор-4- (1, 1, 1, 3, 3, 3-гексафтор-2-гидрокси-2пропил) -1, 6-гептадиена: синтез и химические превращения [Текст] / А. Я. Вайнер [и др. ] // Доклады Академии наук. - 2010. - Т. 435, N 1, ноябрь. - С. 49-52. . - Библиогр.: с. 52 (15 назв. )
Рубрики: Химия Химия высокомолекулярных соединений Кл.слова (ненормированные): полимеры -- циклополимеры -- химические превращения -- синтез полимеров -- нанолитография -- растворимые циклополимеры -- фоторезисты Аннотация: Предложена новая стратегия дизайна и синтеза полимеров для нанолитографии, адекватных технологий с экспонирующим излучением на длине волны 193 нм и позволяющих реализовать микросхемы с 65-нанометровыми топологическими нормами. Доп.точки доступа: Вайнер, А. Я.; Дюмаев, К. М.; Еремина, Л. А.; Зеликсон, К. И.; Пинчук, Е. М.; Штурман, М. Н. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |